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J-GLOBAL ID：200903000704292029

カラーフィルタの検査装置

Inventor： 中久木 秀樹 ,  谷澤 恵一
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997050518
Publication number (International publication number)：1998246705
Application date： Mar. 05, 1997
Publication date： Sep. 14, 1998
Summary：

【要約】【課題】従来の検査装置が強固に付着した異物と簡単に除去できる異物とを識別することが出来ないために、簡単に除去できる異物までも不良品と判定している問題を解決するカラーフィルタの検査装置を提供するものである。【解決手段】カラーフィルタの検査装置に於いて、検査処理部で検出された欠陥に関する位置情報、種類情報を元に、該当する欠陥位置に撮像部、及びエアー吹き出し部を移動させ、撮像部から欠陥部を画像として画像処理装置に取り込んだ後、エアー吹き出し部よりエアーを欠陥部に吹き当て、エアー吹き当て後の画像を再度画像処理装置に取り込んで、先に取り込んだ画像と比較することで、検査処理部で検出した欠陥のうち、カラーフィルタの上に載っただけで溶着していないダストなどの異物を識別することを特長とするカラーフィルタの検査装置。

Claim (excerpt)：

カラーフィルタの検査装置に於いて、検査処理部で検出された欠陥に関する位置情報、種類情報を元に、該当する欠陥位置に撮像部、及びエアー吹き出し部を移動させ、撮像部から欠陥部を画像として画像処理装置に取り込んだ後、エアー吹き出し部よりエアーを欠陥部に吹き当て、エアー吹き当て後の画像を再度画像処理装置に取り込んで、先に取り込んだ画像と比較することで、検査処理部で検出した欠陥のうち、カラーフィルタの上に載っただけで溶着していないダストなどの異物を識別することを特長とするカラーフィルタの検査装置。

IPC (2)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00

FI (2)：

G01N 21/88 Z ,  G01M 11/00 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 基板の回路パターンの検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-321641   Applicant：松下電器産業株式会社
• 微小突起除去装置及びカラーフィルタ補修装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-102813   Applicant：レーザーテック株式会社
• 半導体基板の異物除去装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-233602   Applicant：富士通株式会社