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J-GLOBAL ID：200903000861377739

気中不純物監視装置

Inventor：
柳 基典

About 柳 基典


Applicant, Patent owner：
野村マイクロ・サイエンス株式会社

About 野村マイクロ・サイエンス株式会社


Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998200953
Publication number (International publication number)：2000035397
Application date： Jul. 15, 1998
Publication date： Feb. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】雰囲気中における微粒子や不純物の濃度を、自動的、迅速かつ連続して測定することが可能であると共に、取り扱いが簡便で低コストの気中不純物監視装置を提供すること。【解決手段】 内部にほぼ直立した衝突壁を有する密閉可能な不純物捕捉容器と、この不純物捕捉容器内の前記衝突壁に噴射口を向けて配設された圧縮純粋気体を噴射する圧縮純粋気体噴射管と、この圧縮純粋気体噴射管の噴射口近傍の圧減圧領域にそれぞれ開口端を臨ませて配設された超純水導入管並びに試料雰囲気導入管と、不純物捕捉容器に設けたドレイン配管と、不純物捕捉容器の前記衝突壁近傍に開口させたミスト排出口と、このミスト排出口から排出されたミストを導入して急速乾燥させ、ミスト中の不純物を微粒子状に浮遊させてその濃度を測定する不純物濃度測定装置とを有することを特徴とする。
Claim (excerpt)：
内部にほぼ直立した衝突壁を有する密閉可能な不純物捕捉容器と、前記不純物捕捉容器内の前記衝突壁に噴射口を向けて配設された圧縮純粋気体を噴射する圧縮純粋気体噴射管と、前記圧縮純粋気体噴射管の噴射口近傍の圧減圧領域にそれぞれ開口端を臨ませて配設された超純水導入管並びに試料雰囲気導入管と、前記不純物捕捉容器に設けたドレイン配管と、前記不純物捕捉容器の前記衝突壁近傍に開口させたミスト排出口と、前記ミスト排出口から排出されたミストを導入して急速乾燥させ、ミスト中の不純物を微粒子状に浮遊させてその濃度を測定する不純物濃度測定装置とを有することを特徴とする気中不純物監視装置。
IPC (2)：
G01N 15/06 ,  G01N 1/00 101
FI (2)：
G01N 15/06 D ,  G01N 1/00 101 Q
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開平1-195341
  • 特開昭63-238445
  • 粒子捕集装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-245862   Applicant：株式会社日立製作所
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