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J-GLOBAL ID：200903000915242354

マグネトロンスパッタリング装置、成膜方法及び有機電界発光素子の製造方法

Inventor：
栗屋 豊

About 栗屋 豊


Applicant, Patent owner：
凸版印刷株式会社

About 凸版印刷株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007105771
Publication number (International publication number)：2008261031
Application date： Apr. 13, 2007
Publication date： Oct. 30, 2008
Summary：
【課題】 本発明は、有機電界発光素子作製において、電極、水分吸着膜、環境遮断膜からなる複数の膜を、環境雰囲気に素子特性が影響されずに、容易に連続成膜することが可能なスパッタリング装置及び成膜方法を提供することを課題とした。【解決手段】チャンバー内に、筒状のバッキングプレートと、バッキングプレートの高さ方向を回転軸方向とするバッキングプレート回転手段と、バッキングプレートの外面に配置された複数のターゲット設置部と、各ターゲット設置部の背面位置に設置された極性の異なる対のカソードマグネットと、基板と、基板と対向する位置に具備されたターゲットに接続する機構を有するスパッタリング用電源とを有するマグネトロンスパッタリング装置とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
チャンバー内に筒状のバッキングプレートと、バッキングプレートをその周方向に回転させるバッキングプレート回転手段と、バッキングプレート外面の前記周方向に複数配置されたターゲット設置部と、各ターゲット設置部の背面位置に設置された極性の異なる対のカソードマグネットと、基板及び基板と対向する位置に具備されたターゲットに接続する機構を有するスパッタリング用電源とを有するマグネトロンスパッタリング装置。
IPC (6)：
C23C 14/34 ,  C23C 14/35 ,  C23C 14/12 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/26
FI (7)：
C23C14/34 C ,  C23C14/35 B ,  C23C14/35 Z ,  C23C14/12 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/26 Z
F-Term (22)：
3K107AA01 ,  3K107CC23 ,  3K107CC45 ,  3K107DD03 ,  3K107DD21 ,  3K107DD26 ,  3K107DD58 ,  3K107EE46 ,  3K107GG05 ,  3K107GG07 ,  3K107GG32 ,  4K029BA45 ,  4K029BC03 ,  4K029BC09 ,  4K029BD00 ,  4K029BD02 ,  4K029DC16 ,  4K029DC21 ,  4K029DC22 ,  4K029DC30 ,  4K029DC31 ,  4K029DC43
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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