光情報記録媒体の原盤の製造方法、光情報記録媒体のスタンパの製造方法、光情報記録媒体の原盤、スタンパおよび光情報記録媒体

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：小野由己男 , 稲積朋子 , 渡辺尚
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004353018
Publication number (International publication number)：2005203077
Application date： Dec. 06, 2004
Publication date： Jul. 28, 2005
Summary：

【課題】レジストとして無機材料を用いた場合でも、スタンパの側に所定の凹凸パターンを転写する際において無機材料の状態変化を抑えて凹凸パターンの形状を良好な状態に保つことができる光情報記録媒体の原盤の製造方法、光情報記録媒体のスタンパの製造方法、光情報記録媒体の原盤、スタンパおよび光情報記録媒体を提供することを解決すべき課題とする。【解決手段】光情報記録媒体のスタンパに対して所定の凹凸パターンを転写するための光情報記録媒体の原盤106の製造方法であって、露光処理が施されることで状態変化する無機材料を含むレジスト102を基板101上に形成し、レジスト102に露光処理および現像処理を施すことによって凹凸パターン部分を形成し、この凹凸パターン部分の上に無機隔離層107を形成することにより光情報記録媒体の原盤106を製造する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光情報記録媒体のスタンパに対して所定の凹凸パターンを転写するための光情報記録媒体の原盤の製造方法であって、露光処理が施されることで状態変化する第1無機材料を含むレジストを基板上に形成し、前記レジストに前記露光処理および現像処理を施すことによって凹凸パターン部分を形成し、前記凹凸パターン部分の上に隔離層を形成することを特徴とする光情報記録媒体の原盤の製造方法。

IPC (1)：

G11B7/26

FI (2)：

G11B7/26 501 , G11B7/26 511

F-Term (5)：

5D121BA03 , 5D121BA05 , 5D121BB06 , 5D121CB06 , 5D121CB07

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

光情報記録媒体の製造方法および製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-249493 Applicant：松下電器産業株式会社

Cited by examiner (2)

レジスト材料及び微細加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-297893 Applicant：ソニー株式会社
光記録媒体およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-038927 Applicant：東ソー株式会社

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