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J-GLOBAL ID：200903001165436670

欠陥表示装置および検査装置

Inventor： 阿部 淑人
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 金山 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999144150
Publication number (International publication number)：2000338052
Application date： May. 25, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】次々に欠陥を検出した場合においても検出欠陥の種類や内容を把握することができる欠陥表示装置および検査装置を提供する。【解決手段】欠陥検出の履歴に対応する縮小画像を表示する縮小画像表示手段を有する欠陥表示装置、およびそれを有する検査装置。

Claim (excerpt)：

欠陥検出の履歴に対応する縮小画像を表示する縮小画像表示手段を有することを特徴とする欠陥表示装置。

IPC (3)：

G01N 21/89 ,  B41F 33/02 ,  B41F 33/14

FI (3)：

G01N 21/89 610 A ,  B41F 33/02 Z ,  B41F 33/14 G

F-Term (12)：

2C250EA12 ,  2C250EA13 ,  2C250EB43 ,  2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051AB11 ,  2G051DA13 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051ED15 ,  2G051FA01 ,  2G051FA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 欠陥検出用顕微鏡装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-016218   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 検査データ解析システム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-208811   Applicant：株式会社日立製作所
• 画像表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-209769   Applicant：コニカ株式会社
• 画像処理装置及び画像処理方法並びに記憶媒体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-036366   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平2-121064