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J-GLOBAL ID:200903001181442435

分類装置及び分類方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (8): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004381495
Publication number (International publication number):2006189915
Application date: Dec. 28, 2004
Publication date: Jul. 20, 2006
Summary:
【課題】精度の高い分類を行うことができる分類装置を提供する。【解決手段】検査画像より欠陥領域を抽出する欠陥領域抽出手段101と、前記欠陥領域が分類されるべき正解カテゴリ、及び前記正解カテゴリに対する妥当性の尺度である確信レベルを入力する操作手段104と、正解カテゴリ及び確信レベルの情報を含む教師データを作成する教師データ作成手段105と、確信レベルが高い教師データを確信レベルが低い教師データより有意なデータとして分類を行う分類手段107と、を備える。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
画像より領域を抽出する領域抽出手段と、 前記領域が分類されるべき正解カテゴリ、及び前記正解カテゴリに対する妥当性の尺度である確信レベルを入力する操作手段と、 正解カテゴリ及び確信レベルの情報を含む教師データを作成する教師データ作成手段と、 確信レベルが高い教師データを確信レベルが低い教師データより有意なデータとして分類を行う分類手段と、 を備えることを特徴とする分類装置。
IPC (2):
G06T 7/00 ,  H01L 21/66
FI (2):
G06T7/00 250 ,  H01L21/66 J
F-Term (12):
4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ11 ,  5L096BA03 ,  5L096EA39 ,  5L096FA35 ,  5L096HA09 ,  5L096JA03 ,  5L096JA11 ,  5L096JA22 ,  5L096KA04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2) Cited by examiner (1)

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