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J-GLOBAL ID:200903001267912930
圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
松下 義治
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006201941
Publication number (International publication number):2008028909
Application date: Jul. 25, 2006
Publication date: Feb. 07, 2008
Summary:
【課題】 プラズマアーク電極とインナーリードとの間だけにアーク放電を発生させて、高品質な圧電振動子を効率良く製造すること。【解決手段】 シリンダパッケージタイプの圧電振動子を製造する方法であって、圧電振動片2及びプラグ4を、振動片ホルダ及び気密端子ホルダにそれぞれセットするセット工程と、マウント電極16上にインナーリード26aが位置するように位置を調整する調整工程と、プラグを押え工具35で押さえつけ、インナーリードをマウント電極に密着させる密着工程と、トーチ電極をセットするトーチ電極セット工程と、プラズマアーク放電によりインナーリードとマウント電極とを接合する接合工程と、ケースとステムとを封止する封止工程とを備え、接合工程を行う前に、インナーリードの表面の所定位置に突起部材41を押し付けて、インナーリードの表面に凹凸を形成する凹凸形成工程を行う圧電振動子の製造方法を提供する。【選択図】 図7
Claim (excerpt):
励振電極と、引き出し電極を介して励振電極に電気的に接続されたマウント電極とが外表面上に形成され、所定の電圧が励振電極に印加されたときに振動する圧電振動片と、
該圧電振動片を内部に収納するケースと、
該ケースを密閉させるステムと、該ステムを貫通した状態で配置され、ステムを間に挟んで一端側が前記マウント電極に電気的に接続されるインナーリードとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリードとされたリード端子とを有する気密端子とを備えた圧電振動子を製造する方法であって、
前記圧電振動片を振動片ホルダにセットすると共に、前記気密端子を気密端子ホルダにセットするセット工程と、
該セット工程後、前記マウント電極上に前記インナーリードが位置するように、前記振動片ホルダ及び前記気密端子ホルダの位置を調整する調整工程と、
該調整工程後、前記気密端子を絶縁性の押え工具で押さえつけ、前記インナーリードを前記マウント電極に対して密着させる密着工程と、
該密着工程後、先端にプラズマアーク電極を有するトーチ電極を前記インナーリードの上方に近づけるトーチ電極セット工程と、
該トーチ電極セット工程後、アルゴンガス中で前記プラズマアーク電極と前記インナーリードとの間に電圧を印加して、プラズマアーク放電により前記インナーリードとマウント電極とを接合する接合工程と、
該接合工程後、真空中で前記ケースと前記ステムとを封止する封止工程とを備え、
前記接合工程を行う前に、前記インナーリードの表面の所定位置に先端が鋭利な突起部材を押し付けて、インナーリードの表面に凹凸を形成する凹凸形成工程を行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。
IPC (3):
H03H 3/02
, H03H 9/02
, H03H 9/10
FI (3):
H03H3/02 B
, H03H9/02 C
, H03H9/10
F-Term (17):
5J108BB01
, 5J108BB02
, 5J108CC02
, 5J108CC04
, 5J108CC06
, 5J108DD02
, 5J108DD05
, 5J108EE02
, 5J108EE07
, 5J108EE11
, 5J108FF13
, 5J108GG04
, 5J108GG06
, 5J108GG12
, 5J108GG20
, 5J108KK03
, 5J108MM04
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (4)
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水晶振動子の製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2004-324142
Applicant:セイコーインスツル株式会社
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圧電素子、その製造方法、及び圧電振動片のマウント装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-356475
Applicant:セイコーエプソン株式会社
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圧電振動子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-283200
Applicant:セイコーインスツルメンツ株式会社