光スキャナ製造方法および光スキャナ

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：来栖和則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008014360
Publication number (International publication number)：2009175463
Application date： Jan. 25, 2008
Publication date： Aug. 06, 2009
Summary：

【課題】ミラーを有する振動体を往復揺動的に磁気的に振動させることにより、光学的なスキャンを行う光スキャナを、振動体内部の熱的な残留応力歪みに起因したミラー表面の反りおよびうねりが抑制されるように、製造することに適した方法を提供する。【解決手段】振動体40を、本体部12と、その本体部の表面に局部的に装着された積層体34とを含むように構成するとともに、その積層体34を、ミラー18と磁気コイル32とが互いに積層されて構成されたものとする。そのうえで、(a)本体部12を非加熱的に製造し、(b)ミラーと磁気コイルとを、加熱的に積層することにより、積層体34を、本体部から独立して製造し、(c)本体部12と積層体34とを、非加熱的に互いに接着し、これにより、振動体40が完成する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

板状のミラーを有する振動体を往復揺動的に磁気的に振動させることにより、前記ミラーの反射面に入射した光を走査光として反射する光スキャナを製造する光スキャナ製造方法であって、前記振動体は、本体部と、その本体部の表面に局部的に装着された積層体とを含み、その積層体は、前記ミラーと、板状の可動磁気要素とが互いに積層されて構成されており、当該光スキャナ製造方法は、前記本体部を非加熱的に製造する本体部製造工程と、前記ミラーと前記可動磁気要素とを、それらの順に前記本体部に向かって並ぶ姿勢で加熱的に積層することにより、前記積層体を、前記本体部から物理的に独立して製造する積層体製造工程と、前記製造された本体部と、前記製造された積層体とを、非加熱的に互いに接着する接着工程とを含む光スキャナ製造方法。

IPC (4)：

G02B 26/10 , B81B 3/00 , B81C 3/00 , H04N 1/113

FI (4)：

G02B26/10 104Z , B81B3/00 , B81C3/00 , H04N1/04 104Z

F-Term (28)：

2H045AB06 , 2H045AB08 , 2H045AB16 , 2H045AB73 , 3C081AA01 , 3C081AA17 , 3C081BA28 , 3C081BA44 , 3C081BA47 , 3C081BA54 , 3C081CA05 , 3C081CA13 , 3C081CA20 , 3C081CA32 , 3C081CA42 , 3C081CA43 , 3C081DA06 , 3C081DA07 , 3C081DA24 , 3C081EA08 , 5C072AA03 , 5C072BA15 , 5C072HA01 , 5C072HA14 , 5C072HB15 , 5C072XA01 , 5C072XA05 , 5C072XA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

光偏向器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-206591 Applicant：日本ビクター株式会社

Cited by examiner (5)

光走査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-055992 Applicant：日本信号株式会社, ミヨタ株式会社
光走査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-041361 Applicant：ブラザー工業株式会社
光偏向素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-149481 Applicant：マイクロプレシジョン株式会社

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