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J-GLOBAL ID：200903035011584350

光走査装置

Inventor：
上田 譲

About 上田 譲

, 
柳沢 孝通

About 柳沢 孝通


Applicant, Patent owner：
日本信号株式会社

About 日本信号株式会社

, 
ミヨタ株式会社

About ミヨタ株式会社


Agent (1)： 笹島 富二雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003055992
Publication number (International publication number)：2004264684
Application date： Mar. 03, 2003
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：
【課題】可動板に発生する応力を表裏面でバランスして可動板の反り変形を抑制すると共に、駆動力の向上を可能にする光走査装置を提供する。【解決手段】半導体基板からなる固定部5に、平板状の可動板1と該可動板1を固定部5に対して揺動可能に軸支するトーションバー6とを一体的に形成し、前記可動板1の周縁部に沿って通電により磁界を発生する薄膜コイルを敷設し、前記可動板1に反射ミラーを設ける一方、前記トーションバー6の軸方向に平行な可動板1の対辺部の薄膜コイル部分に対して静磁界を作用させる静磁界発生手段4A,4Bを備えて構成する光走査装置であって、前記可動板1の表裏面に前記薄膜コイル2A,2B及び前記反射ミラー3A,3Bをそれぞれ一対設ける構成とした。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
半導体基板からなる固定部に、平板状の可動板と該可動板を固定部に対して揺動可能に軸支するトーションバーとを一体的に形成し、前記可動板の周縁部に沿って通電により磁界を発生する薄膜コイルを敷設し、前記可動板に反射ミラーを設ける一方、前記トーションバーの軸方向に平行な可動板の対辺部の薄膜コイル部分に対して静磁界を作用させる静磁界発生手段を備えて構成する光走査装置であって、 前記可動板の表裏面に前記薄膜コイル及び前記反射ミラーをそれぞれ一対設ける構成としたことを特徴とする光走査装置。
IPC (1)：
G02B26/10
FI (2)：
G02B26/10 104Z ,  G02B26/10 C
F-Term (4)：
2H045AB13 ,  2H045AB16 ,  2H045AB72 ,  2H045BA12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (9)
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Cited by examiner (9)
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