マイクロ波反応処理装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：福地武雄 , 白川洋一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004056506
Publication number (International publication number)：2005246138
Application date： Mar. 01, 2004
Publication date： Sep. 15, 2005
Summary：

【課題】大容積処理,高い均一処理化,高効率化ができかつ低コストでかつ使用上安全であることを同時に満足するマイクロ波反応処理装置を提供する。【解決手段】気体状の物質を、誘電体の内部あるいは表面に接触させながら誘電体をマイクロ波表面波線路として用いながらマイクロ波を照射し分解を行う装置において、水分子ミストあるいは水蒸気膜を誘電体表面に形成しながら処理を行う。これにより、処理領域あるいは界面においてマイクロ波励起が均一均等で処理反応部を大面積に展開できる大容量処理が可能な装置であり、かつ反応処理において効率よく接触反応が行え、かつ低コスト処理である処理装置が提供できる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

気体状の物質を、誘電体の内部あるいは表面に接触させながら前記誘電体をマイクロ波表面波線路として用いながらマイクロ波を照射し分解を行う装置において、水分子ミストあるいは水蒸気膜を前記誘電体表面に形成しながら処理を行うことを特徴とするマイクロ波反応処理装置。

IPC (1)：

B01J19/12

FI (1)：

B01J19/12 A

F-Term (12)：

4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075CA26 , 4G075CA51 , 4G075CA54 , 4G075DA02 , 4G075DA18 , 4G075EB01 , 4G075EC21 , 4G075FA14 , 4G075FC15

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

二重壁式マイクロ波プラズマアプリケータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-030527 Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

Cited by examiner (2)

放電反応器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-250994 Applicant：エービービーリサーチリミテッド
有機ハロゲン化合物の分解方法およびその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-161884 Applicant：三菱重工業株式会社

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