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J-GLOBAL ID：200903002090922465
合焦位置算出装置及びその方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
蔦田 璋子 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996312002
Publication number (International publication number)：1998154479
Application date： Nov. 22, 1996
Publication date： Jun. 09, 1998
Summary：
【要約】【課題】 走査型電子顕微鏡の合焦位置算出に関し、高速、かつ、高精度な合焦位置算出装置を提供する。【解決手段】 電子ビーム制御部8が画像入力部11を制御することにより、電子ビームが試料表面に予め設定した間隔で走査し、入力された縮小画像の鮮明度を画像処理部10が評価するという一連の処理をフォーカス制御部9がフォーカスを変えながら繰返し、得られたフォーカスに対する鮮明度の変化から合焦位置を検出する。
Claim (excerpt)：
電子ビームを試料に対して走査し、これにより生じた二次電子を検出し、この検出した二次電子の検出量をコントラストの情報に変換して前記試料の拡大した画像を表示する走査型電子顕微鏡において、前記試料に対し前記電子ビームを所定の間隔で飛越して走査する電子ビーム制御手段と、前記電子ビーム制御手段からの電子ビームの前記試料に対するフォーカスを変化させるフォーカス制御手段と、前記電子ビームによって前記試料から生じる二次電子を検出する検出手段と、前記フォーカス制御手段によって前記試料に対するフォーカスを変化させながら、前記検出手段によって検出した二次電子の検出量から各フォーカス毎の画像情報を求める画像情報算出手段と、前記画像情報算出手段によって求めた各フォーカス毎の画像情報についてそれぞれ鮮明度を求め、これら鮮明度から前記試料に対する合焦位置に相当するフォーカスを求める画像処理手段からなることを特徴とする合焦位置算出装置。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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