ナノプリント用スタンパ、及び微細構造転写方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：平木祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003078460
Publication number (International publication number)：2004288845
Application date： Mar. 20, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：

【課題】ナノプリント法において、基板からスタンパを剥離する工程を高精度かつ容易に行うことを目的とする。【解決手段】プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するためのスタンパにおいて、前記スタンパが剥離機構を有することを特徴とするナノプリント用スタンパ、及び該スタンパを用いるパターン転写方法。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

プレス装置を用い、基板上に微細構造を形成するためのスタンパにおいて、前記スタンパが剥離機構を有することを特徴とするナノプリント用スタンパ。

IPC (3)：

H01L21/3205 , B29C59/02 , B81C5/00

FI (3)：

H01L21/88 B , B29C59/02 B , B81C5/00

F-Term (39)：

4F209AA36 , 4F209AA44 , 4F209AF01 , 4F209AG01 , 4F209AG05 , 4F209AH33 , 4F209AH73 , 4F209AJ01 , 4F209AJ09 , 4F209PA02 , 4F209PB01 , 4F209PC01 , 4F209PC05 , 4F209PH02 , 4F209PH21 , 4F209PH27 , 4F209PN03 , 4F209PN04 , 4F209PN09 , 4F209PQ11 , 5D112AA02 , 5D112AA24 , 5D112BA03 , 5D112BA10 , 5D112GA20 , 5D112GB07 , 5D121CA01 , 5F033HH00 , 5F033JJ00 , 5F033KK11 , 5F033MM02 , 5F033PP15 , 5F033PP27 , 5F033PP28 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ41 , 5F033QQ46 , 5F033RR04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

インプリント方法およびインプリント装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-084681 Applicant：日本電信電話株式会社
パタ-ン形成方法及び半導体装置の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-370629 Applicant：富士通株式会社
特開平2-289311

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