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J-GLOBAL ID：200903002486174500

青色発光部材の製造方法及び発光素子

Inventor： 花泉 修 ,  三浦 健太 ,  吉川 正人 ,  山本 春也 ,  杉本 雅樹
Applicant, Patent owner： 国立大学法人群馬大学 ,  独立行政法人 日本原子力研究開発機構
Agent (4)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007080148
Publication number (International publication number)：2008244005
Application date： Mar. 26, 2007
Publication date： Oct. 09, 2008
Summary：

【課題】イオン注入法を用い、青色領域で発光するSi系発光材料の製造方法、及びその方法により製造された青色発光部材を用いた発光素子を提供する。【解決手段】水晶又は溶融石英部材10に対し、所定の照射条件でSiイオンを注入した後、好ましくは、所定温度で所定時間アニール処理を施すことにより、青色光を発する部材を製造することを特徴とする青色発光部材の製造方法。好ましくは、前記照射条件を、少なくとも80keVのエネルギーで、注入Siイオンの注入量を5×1016ions/cm2以上とし、前記アニール処理を、1100°Cより高く、1300°C以下の温度で15分〜1時間、より好ましくは20分〜30分行う。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

水晶又は溶融石英部材に対し、所定の照射条件でSiイオンを注入することにより、青色光を発する部材を製造することを特徴とする青色発光部材の製造方法。

IPC (1)：

H01L 33/00

FI (1)：

H01L33/00 A

F-Term (6)：

5F041AA11 ,  5F041CA46 ,  5F041CA50 ,  5F041CA57 ,  5F041CA71 ,  5F041CA73

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 特許第3830876号公報
  
• 特許第3830874号公報
  
• 特許第2758849号公報
  
• 発光素子およびその製造方法ならびに蛍光体基板とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-156412   Applicant：松下電器産業株式会社

Cited by examiner (1)

• 発光素子およびその製造方法ならびに蛍光体基板とその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-156412   Applicant：松下電器産業株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• イオンビームによる石英ガラス、シリコン熱酸化膜中のナノサイズシリコン微粒子形成とその物性

Cited by examiner (1)

• イオンビームによる石英ガラス、シリコン熱酸化膜中のナノサイズシリコン微粒子形成とその物性