ガラス基板の枚葉搬送装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002098349
Publication number (International publication number)：2003292153
Application date： Apr. 01, 2002
Publication date： Oct. 15, 2003
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】大形化及び薄形化されたガラス基板の場合であっても、ガラス基板を、1枚ずつ確実に、かつガラス基板に大きな曲げ応力がかかることなく搬送することが可能なガラス基板の枚葉搬送装置を提供する。【解決手段】ガラス基板Gを搬送する枚葉搬送台1の少なくとも一端に、移載装置のフォーク5との間でガラス基板Gを受け渡すガラス基板の載置部2を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台1の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板Gを浮上させるとともに、枚葉搬送台1の両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並設し、ローラ間でガラス基板Gを挟持することによりガラス基板Gを搬送するようにする。

Claim (excerpt)：

ガラス基板を搬送する枚葉搬送台の少なくとも一端に、移載装置のフォークとの間でガラス基板を受け渡すガラス基板の載置部を形成したガラス基板枚葉搬送装置において、枚葉搬送台の表面に多数の微小径のエア噴出口を形成することによりガラス基板を浮上させるとともに、枚葉搬送台の両側部に駆動機構によって回転駆動されるローラを並設し、該ローラ間でガラス基板を挟持することによりガラス基板を搬送するようにしたことを特徴とするガラス基板の枚葉搬送装置。

IPC (5)：

B65G 49/06 , B65G 13/00 , B65G 39/14 , B65G 51/03 , H01L 21/68

FI (5)：

B65G 49/06 Z , B65G 13/00 A , B65G 39/14 , B65G 51/03 C , H01L 21/68 A

F-Term (17)：

3F033BA04 , 3F033BB16 , 3F033BC03 , 3F033BC08 , 3F033GA09 , 3F033GB08 , 3F033GD02 , 3F033GE07 , 5F031CA05 , 5F031FA02 , 5F031FA07 , 5F031FA14 , 5F031GA63 , 5F031LA11 , 5F031LA13 , 5F031PA18 , 5F031PA26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

長尺薄板の搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-369274 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-009804 Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
板状部材の搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-258134 Applicant：第一施設工業株式会社, 永田徹三

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Cited by examiner (4)

長尺薄板の搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-369274 Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
基板搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-009804 Applicant：株式会社日立製作所, 日立東京エレクトロニクス株式会社
板状部材の搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-258134 Applicant：第一施設工業株式会社, 永田徹三

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