光学素子、光学ユニット、光学装置、結像光学系、投射光学系及び光学素子の製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：伊東忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007170862
Publication number (International publication number)：2009008931
Application date： Jun. 28, 2007
Publication date： Jan. 15, 2009
Summary：

【課題】低コストで必要な面精度が確保された光学面を持つ光学素子の提供。【解決手段】光学面上に存在する凹凸の周期の逆数を空間周波数とし、光学面上に存在する凹凸を2つ以上の空間周波数成分に分解してそれぞれの空間周波数成分の振幅を面精度としたときに、任意の異なる空間周波数成分の空間周波数f1とf2がf1>f2であるとき、空間周波数f1である空間周波数成分の面精度σ1と空間周波数f2である空間周波数成分の面精度σ2がσ1<σ2である光学面を有することを特徴とする光学素子。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

光学面上に存在する凹凸の周期の逆数を空間周波数とし、光学面上に存在する凹凸を2つ以上の空間周波数成分に分解してそれぞれの空間周波数成分の振幅を面精度としたときに、任意の異なる空間周波数成分の空間周波数f1とf2がf1>f2であるとき、空間周波数f1である空間周波数成分の面精度σ1と空間周波数f2である空間周波数成分の面精度σ2がσ1<σ2である光学面を有することを特徴とする光学素子。

IPC (3)：

G02B 5/10 , G02B 3/00 , G03B 21/14

FI (4)：

G02B5/10 A , G02B5/10 C , G02B3/00 Z , G03B21/14 Z

F-Term (9)：

2H042DC08 , 2H042DC11 , 2H042DC12 , 2H042DD05 , 2H042DE04 , 2K103AB10 , 2K103BC05 , 2K103BC23 , 2K103CA26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

変倍光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2004-062471 Applicant：キヤノン株式会社
投射光学系、拡大投射光学系、拡大投射装置及び画像投射装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-409304 Applicant：株式会社リコー
光反射鏡、その製造方法およびプロジェクター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-121929 Applicant：京セラオプテック株式会社, 京セラケミカル株式会社

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