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J-GLOBAL ID：200903002613833089

ウエハ支持部材及びその製造方法

Inventor： 阿多利 仁
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001024804
Publication number (International publication number)：2002231798
Application date： Jan. 31, 2001
Publication date： Aug. 16, 2002
Summary：

【要約】【課題】板状セラミック体中の異なる深さに埋設する2つの内部電極間における導通を確実に行うことができ、かつ熱応力によって板状セラミック体が破損することのないウエハ支持部材を提供する。【解決手段】ウエハ支持部材1を形成する板状セラミック体3の異なる深さに2つの内部電極6,7と、これら内部電極6,7間の導通を図る通電部8を埋設し、上記通電部8は筒状体とし、この筒状体の両端がそれぞれ内部電極6,7と接して電気的に接続するようにする。

Claim (excerpt)：

板状セラミック体の一方の主面をウエハを載せる載置面とし、上記板状セラミック体の異なる深さに2つ以上の内部電極と、これら内部電極間の導通を図る通電部を埋設してなり、上記通電部は筒状体をなし、該筒状体の両端がそれぞれ上記内部電極と接し電気的に接続してあることを特徴とするウエハ支持部材。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  C04B 35/581 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  C23C 16/458

FI (7)：

H01L 21/68 R ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/205 ,  C23C 16/458 ,  C04B 35/58 104 Q ,  C04B 35/58 104 Y ,  H01L 21/302 B

F-Term (28)：

4G001BA36 ,  4G001BB36 ,  4G001BC23 ,  4G001BC32 ,  4G001BC35 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BD38 ,  4K030FA01 ,  4K030GA02 ,  4K030KA45 ,  4K030LA15 ,  5F004AA01 ,  5F004BA00 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB29 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA01 ,  5F031HA02 ,  5F031HA03 ,  5F031HA17 ,  5F031PA11 ,  5F045AA08 ,  5F045DP02 ,  5F045DQ10 ,  5F045EM05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• ウェハ保持部材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-077908   Applicant：京セラ株式会社
• 静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-043870   Applicant：京セラ株式会社