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J-GLOBAL ID：200903056012909447

ウェハ保持部材

Inventor： 永野 三郎 ,  神谷 哲 ,  川辺 保典 ,  長崎 浩一
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996077908
Publication number (International publication number)：1997267233
Application date： Mar. 29, 1996
Publication date： Oct. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】プラズマ発生用電極12への印加電圧による漏れ電流が発熱抵抗体14に伝わることを防止する。【解決手段】ウェハ20の載置面11aを備えたセラミック製板状体11の内部に発熱抵抗体14とプラズマ発生用電極12を埋設し、両者の間に漏れ電流防止層を備えてウェハ保持部材を構成する。

Claim (excerpt)：

ウェハの載置面を備えたセラミック製板状体の内部に発熱抵抗体とプラズマ発生用電極を埋設し、両者の間に漏れ電流防止層を備えたことを特徴とするウェハ保持部材。

IPC (5)：

B23Q 3/15 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/68

FI (5)：

B23Q 3/15 D ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/285 C ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• シール機構並びにこのシール機構を用いた処理装置及び処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-095566   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 真空処理装置およびそれに用いる載置台
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-166165   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 信越化学工業株式会社
• セラミックスヒーター
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-302351   Applicant：日本碍子株式会社

Cited by examiner (3)

• セラミックスヒーター
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-302351   Applicant：日本碍子株式会社
• シール機構並びにこのシール機構を用いた処理装置及び処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-095566   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
• 真空処理装置およびそれに用いる載置台
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-166165   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 信越化学工業株式会社