静電チャック

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996043870
Publication number (International publication number)：1997237826
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】均一な吸着力でもって半導体ウエハを保持することができるとともに、静電吸着機能以外にプラズマ発生機能を備えたコンパクトな静電チャックを提供する。【解決手段】セラミック基体の表面に厚さ0.02mm以上でかつその最大長さが5cm以下である電極部を複数個備え、上記各電極部に厚さ0.01〜0.5mmの窒化アルミニウム膜を被覆して保持面を形成することにより静電チャックを構成する。

Claim (excerpt)：

セラミック基体の表面に厚さ0.02mm以上でかつその最大長さが5cm以下である電極部を複数個備え、上記各電極部に厚さ0.01〜0.5mmの窒化アルミニウム膜を被覆して保持面を具備したことを特徴とする静電チャック。

IPC (3)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (13)

静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-118417 Applicant：京セラ株式会社
特開平1-274938
静電吸着装置およびその吸着方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-348175 Applicant：株式会社日立製作所

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