干渉縞安定化装置およびそれを用いた非破壊検査装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：西川惠清 , 森厚夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007192248
Publication number (International publication number)：2009030996
Application date： Jul. 24, 2007
Publication date： Feb. 12, 2009
Summary：

【課題】参照光と検査対象物で反射され周波数変調された信号光との干渉縞を安定化することが可能な干渉縞安定化装置、および検査対象物の内部欠陥の検出精度の向上が可能な非破壊検査装置を提供する。【解決手段】非破壊検査装置は、検出用レーザ11と、弾性波励起用レーザ21と、信号光と参照光とを干渉させ検査対象物Obの振動を検出する振動検出手段30と、干渉縞安定化装置40とを備える。干渉縞安定化装置40は、信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段41と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラー42と、干渉縞検出手段41により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラー42の位置を制御する制御手段43とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検査対象物で反射され周波数変調された信号光から分岐された補正用信号光と参照光から分岐された補正用参照光との干渉縞を検出する干渉縞検出手段と、補正用参照光を分岐する前の参照光の光路上に配設され参照光の波面を制御する波面制御用ミラーと、干渉縞検出手段により検出される干渉縞の安定状態からの位相シフトを抑制するように波面制御用ミラーの位置を制御する制御手段とを備えることを特徴とする干渉縞安定化装置。

IPC (5)：

G01N 29/00 , G01N 21/88 , G01B 11/22 , G01N 21/00 , G01N 21/45

FI (5)：

G01N29/00 501 , G01N21/88 Z , G01B11/22 G , G01N21/00 A , G01N21/45 A

F-Term (64)：

2F065AA25 , 2F065CC14 , 2F065DD00 , 2F065FF52 , 2F065FF61 , 2F065GG04 , 2F065GG08 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ03 , 2F065JJ09 , 2F065LL00 , 2F065LL12 , 2F065LL13 , 2F065LL62 , 2F065QQ03 , 2F065QQ23 , 2F065QQ26 , 2F065QQ27 , 2F065RR07 , 2F065UU07 , 2G047AA06 , 2G047AA10 , 2G047BA03 , 2G047BC07 , 2G047CA04 , 2G047EA10 , 2G047EA11 , 2G047GD01 , 2G047GG29 , 2G047GG41 , 2G051AA90 , 2G051AB06 , 2G051BA04 , 2G051BA10 , 2G051CA02 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051CC11 , 2G051CC20 , 2G051CD03 , 2G051EA14 , 2G051EC04 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059EE02 , 2G059EE09 , 2G059EE16 , 2G059GG01 , 2G059GG05 , 2G059GG06 , 2G059GG08 , 2G059HH02 , 2G059HH06 , 2G059HH09 , 2G059JJ15 , 2G059JJ22 , 2G059JJ30 , 2G059KK04 , 2G059LL01 , 2G059MM01 , 2G059PP05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

レーザ超音波による材料非破壊検査方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-384573 Applicant：関西電力株式会社, 財団法人レーザー技術総合研究所, 非破壊検査株式会社

Cited by examiner (4)

干渉顕微鏡装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-077608 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
画像同期測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-053239 Applicant：科学技術振興事業団
レーザ超音波による材料非破壊検査方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-384573 Applicant：関西電力株式会社, 財団法人レーザー技術総合研究所, 非破壊検査株式会社

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