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J-GLOBAL ID：200903002842619686

露光パターン投影デバイス及び露光装置

Inventor：
小池 薫

About 小池 薫


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997012280
Publication number (International publication number)：1998209019
Application date： Jan. 27, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：
【要約】【課題】 レチクル(マスク)を用いることなく、任意の回路パターンを形成できる露光パターン投影デバイスと、露光装置を提供する。【解決手段】 露光用光源3と、光源3の発する光線を反射させる露光パターン投影デバイス2と、露光パターン投影デバイス2による反射光を縮小投影する投影光学系5を備え、露光パターン投影デバイス2は、微小鏡面2aを複数個備え、微小鏡面2aは駆動信号11aにより反射角度が可変であり、駆動信号11aは露光パターンに基づくオンオフ情報を搭載する。
Claim (excerpt)：
微小鏡面を複数個備え、前記微小鏡面は露光光源が発する露光光を反射可能であり、かつ、前記個々の微小鏡面は駆動信号により反射角度が可変であり、前記駆動信号は露光パターンに基づくオンオフ情報を搭載した構成としたことを特徴とする反射式の露光パターン投影デバイス。
IPC (2)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521
FI (2)：
H01L 21/30 517 ,  G03F 7/20 521
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
  • 置換されたトリアゾール類
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-207051   Applicant：バイエル・アクチエンゲゼルシヤフト
  • 特開昭62-021220
  • 特開平4-125650
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