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J-GLOBAL ID：200903003060957643

蒸着処理用のマスキング部材の製造方法

Inventor：
土屋 輝直

About 土屋 輝直


Applicant, Patent owner：
大日本印刷株式会社

About 大日本印刷株式会社


Agent (1)： 金山 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002070893
Publication number (International publication number)：2003272839
Application date： Mar. 14, 2002
Publication date： Sep. 26, 2003
Summary：
【要約】【課題】 有機EL素子の低分子有機層及び陰極の蒸着パターニング形成を、精度良く、安定的にできるマタルマスク部材の製造方法を提供する。【解決手段】 (a)メタルマスク部をエッチング作製するための耐エッチング膜となるレジストパターンを、メタルマスク部の加工用素材である金属薄板に配設する、レジストパターン配設工程と、(b)レジストパターンを配設した金属薄板を枠体に貼り付ける、貼り付け工程と、(c)レジストパターンを耐エッチングマスクとして金属薄板をエッチングし、所定の開口をその一方の面側に設けた貫通孔を形成して、メタルマスク部を作製するエッチング加工工程とを行なう。
Claim (excerpt)：
蒸着作製するパターンに対応した所定の開口をその一方の面側に設けた蒸着物質を通過させるための貫通孔を有する金属薄板状のメタルマスク部を、枠体に固定した、蒸着処理用のマスキング部材の製造方法であって、順次、(a)メタルマスク部をエッチング作製するための耐エッチング膜となるレジストパターンを、メタルマスク部の加工用素材である金属薄板に配設する、レジストパターン配設工程と、(b)レジストパターンを配設した金属薄板を枠体に貼り付ける、貼り付け工程と、(c)レジストパターンを耐エッチングマスクとして金属薄板をエッチングし、所定の開口をその一方の面側に設けた貫通孔を形成して、メタルマスク部を作製するエッチング加工工程とを行なうことを特徴とする蒸着処理用のマスキング部材の製造方法。
IPC (4)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 ,  H04N 5/66 ,  H05B 33/14
FI (4)：
H05B 33/10 ,  C23C 14/04 A ,  H04N 5/66 Z ,  H05B 33/14 A
F-Term (15)：
3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA01 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  5C058AA12 ,  5C058BA35
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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