Pat
J-GLOBAL ID：200903031117326118

メタルマスク構造体及びその製造方法

Inventor：
北爪 栄一

About 北爪 栄一


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000255781
Publication number (International publication number)：2002069619
Application date： Aug. 25, 2000
Publication date： Mar. 08, 2002
Summary：
【要約】【課題】 メタルマスクをフレームに溶接するに際し、溶接部が被蒸着基板内に当接する場合、溶接バリ13によるマスクと基板とのギャップを極力少なくし、蒸着パターンのにじみを防止し得るマスク構造体を提供する。【解決手段】 薄層の蒸着用のメタルマスク12が支持フレーム11に溶接されており、少なくとも被蒸着基板内に該溶接部が位置するメタルマスク構造体であって、前記メタルマスクのフレーム当接面の反対の面に、該メタルマスクに凹部12aが形成されており、該凹部内でメタルマスクと支持フレームとが溶接されていることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
薄層の蒸着用のメタルマスクが支持フレームに溶接されており、少なくとも被蒸着基板内に該溶接部が位置するメタルマスク構造体であって、前記メタルマスクのフレーム当接面の反対の面に、該メタルマスクに凹部が形成されており、該凹部内でメタルマスクと支持フレームとが溶接されていることを特徴とするメタルマスク構造体。
IPC (5)：
C23C 14/24 ,  H01L 21/285 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H05B 33/14
FI (5)：
C23C 14/24 G ,  H01L 21/285 M ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/12 B ,  H05B 33/14 A
F-Term (15)：
3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029BB03 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04 ,  4M104BB36 ,  4M104DD33
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
Show all
Cited by examiner (4)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM