半導体温度センサ回路,半導体集積回路および半導体温度センサ回路の調整方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：牛木護 , 清水栄松 , 吉田正義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006058740
Publication number (International publication number)：2007240157
Application date： Mar. 03, 2006
Publication date： Sep. 20, 2007
Summary：

【課題】微細プロセスでの低電源電圧においても動作可能な高精度温度センサ回路を提供する。【解決手段】第2のMOSFET2のドレイン電流IOUT1と、前記第3のMOSFET3のドレイン電流と第4のMOSFET4のドレイン電流の合計値IOUT2が等しくなるときに、前記トランジスタ回路の出力電圧VOUTから温度を検知する。また、第3のMOSFET3のドレイン電流IOUT2のみで生じる動作点をシフトさせる動作点シフト回路25を設ける。この動作点シフト回路25は、第3のMOSFET3と並列接続される第4のMOSFET4と、第4のMOSFET4を飽和領域で動作させるゲート電圧を第4のMOSFET4に供給する電圧供給源14と、からなる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

ダイオード接続された第1の電界効果トランジスタと、前記第1の電界効果トランジスタと直列接続されるダイオード接続された第2の電界効果トランジスタと、前記第2の電界効果トランジスタとゲートどうしを接続してなる第3の電界効果トランジスタとを備え、前記第1および第2の電界効果トランジスタからなる直列回路と、前記第3の電界効果トランジスタとを並列に接続してトランジスタ回路を構成し、前記第2の電界効果トランジスタのドレイン電流と、前記第3の電界効果トランジスタのドレイン電流が等しくなるときに、前記トランジスタ回路の出力電圧から温度を検知する半導体温度センサ回路において、前記第3の電界効果トランジスタと並列接続される第4の電界効果トランジスタと、前記第4の電界効果トランジスタを飽和領域で動作させるゲート電圧を前記第4の電界効果トランジスタに供給する電圧供給源とからなり、前記第3の電界効果トランジスタのドレイン電流で生じる動作点を第4の電界効果トランジスタのドレイン電流によりシフトさせる動作点シフト回路を設けたことを特徴とする半導体温度センサ回路。

IPC (3)：

G01K 7/01 , H01L 21/822 , H01L 27/04

FI (3)：

G01K7/00 391M , G01K7/00 391C , H01L27/04 H

F-Term (12)：

2F056JT01 , 2F056JT08 , 5F038AV06 , 5F038AZ08 , 5F038BB02 , 5F038BH16 , 5F038CA02 , 5F038CA07 , 5F038CA08 , 5F038DF03 , 5F038DT12 , 5F038EZ20

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

温度検出方法、半導体装置及び温度検出回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-278754 Applicant：日本電気株式会社
半導体温度センサーとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-235583 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
特表平4-503861

Cited by examiner (3)

温度検出方法、半導体装置及び温度検出回路
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-278754 Applicant：日本電気株式会社
半導体温度センサーとその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-235583 Applicant：セイコーインスツルメンツ株式会社
特表平4-503861

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

CMOS Sensors for On-Line Thermal Monitoring of VLSI Circuits

Cited by examiner (1)

CMOS Sensors for On-Line Thermal Monitoring of VLSI Circuits

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