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J-GLOBAL ID:200903003488245885

吸着フィルタ洗浄装置および洗浄方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (8): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004097997
Publication number (International publication number):2005279473
Application date: Mar. 30, 2004
Publication date: Oct. 13, 2005
Summary:
【課題】本発明の課題は、超臨界または亜臨界流体密度を選択して洗浄を行うことにより、エネルギーコスト面から省力化を図るとともに、無駄な洗浄時間を省くことを可能とする吸着フィルタ洗浄装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、吸着フィルタを収容し洗浄する洗浄槽16と、前記洗浄槽16内の吸着フィルタに通流させる超臨界または亜臨界流体の流体密度が洗浄時に所定範囲となるように、流体の温度および圧力を制御する制御装置26とを備えることを特徴とするものである。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
超臨界または亜臨界流体を用いて吸着フィルタを洗浄する吸着フィルタ洗浄装置であって、 吸着フィルタを収容し洗浄する洗浄槽と、 前記洗浄槽内の吸着フィルタに通流させる超臨界または亜臨界流体の流体密度が洗浄時に所定範囲となるように、流体の温度および圧力を制御する制御装置と を備えることを特徴とする吸着フィルタ洗浄装置。
IPC (5):
B08B7/00 ,  B01D15/00 ,  B01D53/04 ,  B01J3/00 ,  B01J20/34
FI (5):
B08B7/00 ,  B01D15/00 G ,  B01D53/04 Z ,  B01J3/00 A ,  B01J20/34 Z
F-Term (20):
3B116AA46 ,  3B116AB42 ,  3B116BB02 ,  3B116BB82 ,  3B116BB90 ,  3B116CD22 ,  3B116CD42 ,  4D012CA10 ,  4D012CB01 ,  4D012CD10 ,  4D012CG01 ,  4D012CK10 ,  4D017CA03 ,  4D017DB02 ,  4D017DB10 ,  4D017EB10 ,  4G066CA56 ,  4G066DA01 ,  4G066GA31 ,  4G066GA40
Patent cited by the Patent:
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