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J-GLOBAL ID:200903072333088939
超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄装置
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (6):
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002184538
Publication number (International publication number):2004025029
Application date: Jun. 25, 2002
Publication date: Jan. 29, 2004
Summary:
【課題】本発明の課題は、超臨界流体を用いて微細ガラス繊維を破損することなく洗浄し、さらに脱離した汚れが再付着しないように効率よく洗浄する超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄装置を提供することにある。【解決手段】本発明は、超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽16と、洗浄槽16へ流入する流体の温度や圧力を徐々に昇圧および/または昇温して流体を超臨界または亜臨界状態にし、超臨界または亜臨界状態にした流体を洗浄槽16内に所定時間流通させ、洗浄槽16内に流通させた流体の温度や圧力を徐々に減圧および/または減温しながら洗浄槽16から流体を排出するように制御する制御装置26とを具備することを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
超臨界または亜臨界流体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽へ流入する流体の温度や圧力を徐々に昇圧および/または昇温して流体を超臨界または亜臨界状態にし、超臨界または亜臨界状態にした流体を洗浄槽内に所定時間流通させ、前記洗浄槽内に流通させた流体の温度や圧力を徐々に減圧および/または減温しながら洗浄槽から流体を排出するように制御する制御装置と
を具備することを特徴とする超臨界または亜臨界流体を用いた洗浄装置。
IPC (3):
B08B3/02
, B08B3/08
, B08B3/10
FI (3):
B08B3/02 A
, B08B3/08 Z
, B08B3/10 Z
F-Term (8):
3B201AA46
, 3B201AB01
, 3B201BB82
, 3B201BB90
, 3B201BB92
, 3B201BB98
, 3B201CD11
, 3B201CD22
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
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超臨界流体洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-200007
Applicant:シャープ株式会社
-
超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-258254
Applicant:シャープ株式会社
-
ガラス基板用超臨界洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-194855
Applicant:株式会社サムコン
Cited by examiner (3)
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超臨界流体洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-200007
Applicant:シャープ株式会社
-
超臨界流体洗浄方法及び超臨界流体洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-258254
Applicant:シャープ株式会社
-
ガラス基板用超臨界洗浄装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-194855
Applicant:株式会社サムコン
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