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J-GLOBAL ID:200903003516786919

触覚センサおよびそれを用いた触覚センサユニット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 鎌田 耕一 ,  黒田 茂
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2005013878
Publication number (International publication number):2006201061
Application date: Jan. 21, 2005
Publication date: Aug. 03, 2006
Summary:
【課題】 従来の触覚センサとは全く異なる新規な構造を有する触覚センサ、およびそれを用いた触覚センサユニットを提供する。 【解決手段】 基板101と基板101の上に配置された被膜104とを含み、被膜104に加えられた力を検出する触覚センサである。基板101の上に基板101側から順に配置された第1および第2の層122および123を含む積層部102と、層122および123を層123側に曲げることによって形成された起立部103と、起立部103の変形を検出するための検出手段とを含む。積層部102および起立部103は、それぞれ、互いに格子定数が異なる複数の層を含む。層122および123は、上記複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられている。起立部103と被膜104とが接触しており、被膜104に力が加えられることによって起立部103が変形する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基板と前記基板の上に配置された被膜とを含み、前記被膜に加えられた力を検出する触覚センサであって、 前記基板の上に前記基板側から順に配置された第1および第2の層を含む積層部と、前記第1および第2の層を前記第2の層側に曲げることによって形成された起立部と、前記起立部の変形を検出するための検出手段とを含み、 前記積層部および前記起立部は、それぞれ、互いに格子定数が異なる複数の層を含み、 前記第1および第2の層は、前記複数の層における格子定数の差によって生じた力によって曲げられており、 前記起立部と前記被膜とが接触しており、 前記被膜に力が加えられることによって前記起立部が変形する触覚センサ。
IPC (2):
G01L 1/18 ,  G01L 1/14
FI (2):
G01L1/18 A ,  G01L1/14 J
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (5)
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