機能素子、機能素子を用いた装置、および機能素子の製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004102571
Publication number (International publication number)：2004304193
Application date： Mar. 31, 2004
Publication date： Oct. 28, 2004
Summary：

【課題】高精細化、高密度化、高集積化の要求に対応した圧電性または焦電性機能素子およびそれを利用したアクチュエータ、センサなどの装置を提供する。【解決手段】圧電性または焦電性を有する材料の薄膜1を1軸上に巻いて内径100μm以下のコイル状に形成する。また、圧電性または焦電性を有する材料を質量が10mg以下の素子に形成する。これにより高精細化、高密度化、高集積化が可能な各種の機能素子、アクチュエータ、センサおよびそれらを利用した装置を実現することができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

圧電性または焦電性を有する材料をコイル状に形成したことを特徴とする機能素子。

IPC (11)：

H01L41/08 , A61B8/06 , A61B8/12 , G01F1/28 , G01L1/16 , G01P5/04 , H01L41/193 , H01L41/22 , H01L41/26 , H04R1/44 , H04R17/00

FI (12)：

H01L41/08 H , A61B8/06 , A61B8/12 , G01F1/28 Z , G01L1/16 B , G01P5/04 H , H04R1/44 330D , H04R17/00 330G , H01L41/08 Z , H01L41/22 Z , H01L41/18 102 , H01L41/22 C

F-Term (21)：

2F030CA10 , 2F030CC01 , 2G047AA01 , 2G047AC13 , 2G047BC13 , 2G047BC19 , 2G047CA01 , 2G047EA15 , 2G047GA02 , 2G047GB12 , 2G047GB32 , 2G047GB36 , 4C601DD03 , 4C601DD22 , 4C601EE09 , 4C601EE13 , 4C601FE04 , 4C601GB41 , 4C601GB45 , 5D019FF02 , 5D019FF04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

超音波トランスジューサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-064946 Applicant：株式会社村田製作所
インクジェットヘッドおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-094557 Applicant：セイコーエプソン株式会社
焦電型温度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-200952 Applicant：住友電気工業株式会社

Cited by examiner (11)

アクチュエータおよび歪み素子の製造方法
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赤外線検出器用焦電体素子
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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

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