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J-GLOBAL ID：200903003588097409

ビーム重ね合わせ装置及びレーザ加工方法

Inventor：
山▲崎▼ 和則

About 山▲崎▼ 和則

, 
浜田 史郎

About 浜田 史郎


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (2)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005190531
Publication number (International publication number)：2007007683
Application date： Jun. 29, 2005
Publication date： Jan. 18, 2007
Summary：
【課題】 複数のレーザビームを部分的に重ね合わせるビーム重ね合わせ光学装置において、重ね合う部分をより大きくする。【解決手段】 中心光線が相互に平行な複数のレーザビームが、拡がり角拡大光学系に入射する。拡がり角拡大光学系は、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を大きくして出射させ、出射するレーザビームの中心光線を相互に平行に保ち、かつ出射するレーザビームの中心光線の間隔を、入射したレーザビームの中心光線の間隔よりも狭くすることにより、レーザビーム同士を部分的に重ね合わせる。拡がり角拡大光学系によって部分的に重ね合わされたレーザビームが、拡がり角縮小光学系に入射する。拡がり角縮小光学系は、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を小さくして出射させ、かつ出射するレーザビームが部分的に重ね合わされた状態で、これらの中心光線を相互に平行に保つ。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
中心光線が相互に平行な複数のレーザビームが入射し、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を大きくして出射させ、出射するレーザビームの中心光線を相互に平行に保ち、かつ出射するレーザビームの中心光線の間隔を、入射したレーザビームの中心光線の間隔よりも狭くすることにより、レーザビーム同士を部分的に重ね合わせる拡がり角拡大光学系と、 前記拡がり角拡大光学系によって部分的に重ね合わされたレーザビームが入射し、入射したレーザビームの各々のビーム拡がり角を小さくして出射させ、かつ出射するレーザビームが部分的に重ね合わされた状態で、これらの中心光線を相互に平行に保つ拡がり角縮小光学系と を有するビーム重ね合わせ光学装置。
IPC (3)：
B23K 26/06 ,  B23K 26/073 ,  G02B 13/00
FI (4)：
B23K26/06 A ,  B23K26/06 Z ,  B23K26/073 ,  G02B13/00
F-Term (20)：
2H087KA26 ,  2H087LA26 ,  2H087PA02 ,  2H087PA03 ,  2H087PA17 ,  2H087PB02 ,  2H087PB03 ,  2H087QA02 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA34 ,  2H087QA41 ,  4E068CA02 ,  4E068CB08 ,  4E068CD02 ,  4E068CD05 ,  4E068CD08 ,  4E068CD13 ,  4E068CE08
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
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