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J-GLOBAL ID：200903057115341720

均一化レーザビーム照射装置

Inventor：
山崎 和則

About 山崎 和則


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (2)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002254017
Publication number (International publication number)：2004093837
Application date： Aug. 30, 2002
Publication date： Mar. 25, 2004
Summary：
【課題】複数のレーザビームを重ね合わせた時の干渉に起因する強度のうねりを低減させることが可能な均一化レーザビーム照射装置を提供する。【解決手段】固体レーザ光源が、品質指標M2のレーザビームを出射する。固体レーザ光源から出射されたレーザビームがレンズアレイに入射する。レンズアレイの入射側の面におけるレーザビームの直径がDである。レンズアレイは、レーザビームの進行方向に垂直な面内に、少なくとも1次元方向にピッチhで周期的に配列された複数のレンズを含む。光学系が、レンズアレイの各々のレンズを通過した各レーザビームを、共通の被照射面上に重ね合わせる。固体レーザ光源及びレンズアレイは、M2>(0.61πD/h)を満足する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
品質指標M2のレーザビームを出射する固体レーザ光源と、 前記固体レーザ光源から出射されたレーザビームが入射するレンズアレイであって、該レンズアレイの入射側の面におけるレーザビームの直径がDであり、該レーザビームの進行方向に垂直な面内に、少なくとも1次元方向にピッチhで周期的に配列された複数のレンズを含むレンズアレイと、 前記レンズアレイの各々のレンズを通過した各レーザビームを、共通の被照射面上に重ね合わせる光学系と を有し、前記固体レーザ光源及び前記レンズアレイは、M2>(0.61πD/h)を満足する均一化レーザビーム照射装置。
IPC (4)：
G02B27/09 ,  B23K26/06 ,  G02B19/00 ,  H01L21/268
FI (4)：
G02B27/00 E ,  B23K26/06 Z ,  G02B19/00 ,  H01L21/268 J
F-Term (7)：
2H052BA02 ,  2H052BA07 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  4E068CD03 ,  4E068CD05 ,  4E068CD14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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