感光性ペースト

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996022795
Publication number (International publication number)：1997218509
Application date： Feb. 08, 1996
Publication date： Aug. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを安定して提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とリン含有化合物を含むことを特徴とする感光性ペースト。

Claim (excerpt)：

リン含有化合物、感光性有機成分、無機微粒子を必須成分とする感光性ペースト。

IPC (6)：

G03F 7/004 501 , C03C 3/091 , C03C 8/02 , C03C 8/14 , G02F 1/1333 , H05K 1/09

FI (6)：

G03F 7/004 501 , C03C 3/091 , C03C 8/02 , C03C 8/14 , G02F 1/1333 , H05K 1/09 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-132188 Applicant：東京応化工業株式会社
感光性絶縁ペ-スト
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-117494 Applicant：東レ株式会社
特開昭57-049106

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