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J-GLOBAL ID：200903003813248039

光偏向素子と光偏向器と光走査装置及び画像形成装置

Inventor：
藤井 光美

About 藤井 光美

, 
望月 栄二

About 望月 栄二


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (1)： 小島 俊郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004246174
Publication number (International publication number)：2006064901
Application date： Aug. 26, 2004
Publication date： Mar. 09, 2006
Summary：
【課題】反射面を有するミラー基板の厚さを厚くすることないしに動的撓みを小さくして高速で且つ大きな偏向角で動作することができる光偏向素子を得る。【解決手段】梁4をねじり回転軸としてミラー基板2を往復振動させて光源からの光ビームを偏向する光偏向素子1のミラー基板2の反射面5とは反対側の面に、下部電極7と梁4の中心線を挟んだ両側に2分割して配置された個別電極8a,8bに挟まれた電気ー機械変換素子6を設ける。個別電極8a,8bと下部電極7で電気ー機械変換素子6に印加する電圧を、ミラー基板2の往復振動時に発生する変形を打ち消す方向の力が作用するように可変し、電気ー機械変換素子6のモノモルフ効果により、ミラー基板2を往復振動したときに生じて動的変形を減少する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
一方の面に反射面を有するミラー基板が支持基板の内部中央にねじり回転軸となる梁により支持され、梁をねじり回転軸としてミラー基板を往復振動させて光源からの光ビームを偏向する光偏向素子において、 前記ミラー基板の反射面とは反対側の面に、共通電極と梁の中心線を挟んだ両側に2分割して配置された個別電極に挟まれた電気ー機械変換素子を設け、該電気ー機械変換素子に印加する電圧を、前記ミラー基板の往復振動時に発生する変形を打ち消す方向の力が作用するように可変することを特徴とする光偏向素子。
IPC (3)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  B41J 2/44
FI (3)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  B41J3/00 D
F-Term (11)：
2C362BA18 ,  2H045AB03 ,  2H045AB16 ,  2H045AB24 ,  2H045AB38 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA22 ,  2H045BA36 ,  2H045CB65 ,  2H045DA02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (7)
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