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J-GLOBAL ID：200903057074653127

光偏向器及びその製造方法、それを用いた光学機器そしてねじれ揺動体

Inventor：
加藤 貴久

About 加藤 貴久

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古川 幸生

About 古川 幸生

, 
島田 康弘

About 島田 康弘

, 
八木 隆行

About 八木 隆行


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002192210
Publication number (International publication number)：2003131161
Application date： Jul. 01, 2002
Publication date： May. 08, 2003
Summary：
【要約】【課題】 従来の光偏向器は慣性モーメントを低減しようとすると、剛性が不足し、十分な動的歪の抑制ができない。【解決手段】 支持基板2に可動板6の両端が弾性支持部3で支持され、可動板6の一方の面に反射面4が形成され、可動板6を弾性支持部3のねじり軸を中心にねじり振動させることによって反射面4に入射する入射光を偏向する光偏向器において、可動板6の反射面4とは反対側の面であって弾性支持部3のねじり軸を挟む両側の少なくとも一方の面に凹部5B、5Cを形成する。また、可動板6の側面に凹部5Aを形成する。
Claim (excerpt)：
支持基板に可動板の両端が弾性支持部で支持され、前記可動板の一方の面には反射面が形成され、前記可動板を弾性支持部のねじり軸を中心にねじり振動させることによって、前記反射面に入射する入射光を偏向する光偏向器であって、前記可動板の反射面が形成されない面で、前記弾性支持部のねじり軸を挟む両側の少なくとも一方側の面に凹部を形成したことを特徴とする光偏向器。
IPC (5)：
G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/08
FI (5)：
G02B 26/10 104 Z ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  G02B 26/08 E ,  B41J 3/00 D
F-Term (11)：
2C362BA17 ,  2C362BA33 ,  2C362BA83 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC04 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB06 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
  • 光偏向器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-206591   Applicant：日本ビクター株式会社
  • 静電力駆動光走査装置とその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-218329   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 特開平3-215816
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Cited by examiner (9)
  • 静電力駆動光走査装置とその製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-218329   Applicant：松下電器産業株式会社
  • 光偏向器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-206591   Applicant：日本ビクター株式会社
  • 光スキャナー
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-239665   Applicant：キヤノン株式会社
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