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J-GLOBAL ID：200903004014446304

固体撮像素子およびその製造方法

Inventor：
大塚 洋一

About 大塚 洋一


Applicant, Patent owner：
ソニー株式会社

About ソニー株式会社


Agent (1)： 野田 茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001118019
Publication number (International publication number)：2002314058
Application date： Apr. 17, 2001
Publication date： Oct. 25, 2002
Summary：
【要約】【課題】 斜め入射光に対して充分な光感度が得られるようにする。【解決手段】 各光センサー104ごとに光センサー104の上に設けられた、凸面状の上面を有する透明材料から成る層内マイクロ凸レンズ134を含み、その上面に1μm以下のほぼ一定の膜厚で被着された、たとえば有機顔料を主要構成材料とするカラーフィルター4を備えている。カラーフィルター4は、たとえば蒸着重合法などのドライ成膜法により、顔料を層内マイクロ凸レンズ134上に成膜して形成することができる。層内マイクロ凸レンズ134とカラーフィルター4との間に平坦化層が介在せず、また、カラーフィルター4は感光剤や硬化剤を含まず薄く形成できるので、上層部の高さHを抑えて、斜め入射光も光センサー104上に確実に集光できる。
Claim (excerpt)：
半導体基板上に配列された複数の光センサーと、各光センサーごとに光センサーの上に設けられた、凸面状の上面を有する透明材料から成る層内マイクロレンズとを含む固体撮像素子であって、前記層内マイクロレンズの上面にほぼ一定の膜厚で被着された、顔料を主要構成材料とするカラーフィルターを含むことを特徴とする固体撮像素子。
IPC (5)：
H01L 27/14 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H01L 31/0232 ,  H04N 5/335
FI (5)：
G02B 3/00 A ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 V ,  H01L 27/14 D ,  H01L 31/02 D
F-Term (33)：
2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB15 ,  2H048BB47 ,  4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA10 ,  4M118CA03 ,  4M118CA40 ,  4M118FA06 ,  4M118GC08 ,  4M118GC17 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD08 ,  5C024AX01 ,  5C024CX41 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5F088BA01 ,  5F088BB03 ,  5F088CB03 ,  5F088CB06 ,  5F088CB07 ,  5F088DA17 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088HA06 ,  5F088HA07 ,  5F088JA12 ,  5F088JA13
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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