基板ホルダー

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003193344
Publication number (International publication number)：2005029814
Application date： Jul. 08, 2003
Publication date： Feb. 03, 2005
Summary：

【課題】基板ホルダーから剥離したパーティクル・ダストは、不良品発生の原因となる。このため、ある程度成膜操作を繰り返すたびに基板ホルダーを洗浄しているが、この洗浄の間隔を長くすることができ、洗浄にも手間がかからない基板ホルダーを提供する。【解決手段】成膜装置内で基板を保持する基板ホルダーであって、該基板ホルダーには基板を埋設・保持する凹部が形成されており、かつ、基板ホルダーの成膜を受ける面の前記凹部以外の面に複数の溝部が形成されていることを特徴とする基板ホルダー。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

成膜装置内で基板を保持する基板ホルダーであって、該基板ホルダーには基板を埋設・保持する凹部が形成されており、かつ、基板ホルダーの成膜を受ける面の前記凹部以外の面に複数の溝部が形成されていることを特徴とする基板ホルダー。

IPC (3)：

C23C14/50 , C23C16/458 , H01L21/68

FI (3)：

C23C14/50 D , C23C16/458 , H01L21/68 N

F-Term (16)：

4K029AA09 , 4K029BA08 , 4K029CA05 , 4K029DC03 , 4K029DC22 , 4K029JA01 , 4K029JA05 , 4K030GA02 , 4K030KA46 , 5F031CA02 , 5F031HA03 , 5F031HA08 , 5F031MA29 , 5F031PA09 , 5F031PA24 , 5F031PA30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

基板ホルダー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-294893 Applicant：三菱重工業株式会社
成膜装置用構成部品及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-108165 Applicant：日本真空技術株式会社
ウェハ保持部材及び耐プラズマ用部材
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-014491 Applicant：京セラ株式会社

Show all

Return to Previous Page