ウェハ保持部材及び耐プラズマ用部材

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996014491
Publication number (International publication number)：1997213773
Application date： Jan. 30, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】耐食性に優れるとともにウェハ30に悪影響を及ぼしにくいウェハ保持部材を得る。【解決手段】ウェハ30の載置面11aを単結晶サファイアで形成しするとともに、体積固有抵抗が10-2Ω・cm以下で厚みtが10μm以上のプラズマ発生用の電極12を備えてウェハ保持部材を構成する。

Claim (excerpt)：

ウェハを載置し加工、搬送等を行うためのウェハ保持部材であって、少なくともウェハ載置面を単結晶サファイアで形成するとともに、内部に体積固有抵抗が10-2Ω・cm以下で厚みが10μm以上のプラズマ発生用電極を備えてなるウェハ保持部材。

IPC (5)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , C23C 14/50 , H01L 21/205 , H01L 21/3065

FI (5)：

H01L 21/68 N , B23Q 3/15 D , C23C 14/50 D , H01L 21/205 , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-273581 Applicant：日電アネルバ株式会社
板状物保持手段およびそれを用いた装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-199617 Applicant：株式会社日立製作所
セラミックスヒーター
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-302351 Applicant：日本碍子株式会社

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