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J-GLOBAL ID：200903004096444649

耐プラズマ部材

Inventor： 村川 俊一 ,  中村 勝美
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997042604
Publication number (International publication number)：1998236871
Application date： Feb. 26, 1997
Publication date： Sep. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝されたとしても腐食が少ない耐プラズマ部材を提供する。【解決手段】フッ素系や塩素系などの腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝される耐プラズマ部材の表面を、気孔率が3%以下のイットリウム・アルミニウム・ガーネット焼結体により形成するとともに、その表面を中心線平均粗さ(Ra)1μm以下とする。

Claim (excerpt)：

フッ素系や塩素系などのハロゲン系腐食性ガス雰囲気下でプラズマに曝される表面を、気孔率が3%以下のイットリウム・アルミニウム・ガーネット焼結体により形成するとともに、その表面を中心線平均粗さ(Ra)1μm以下としたことを特徴とする耐プラズマ部材。

IPC (8)：

C04B 35/44 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/14 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (9)：

C04B 35/44 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/22 501 M ,  H01L 21/68 R ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/14 Z ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 金属蒸気放電灯用発光管
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-115625   Applicant：京セラ株式会社
• 特開平4-233154
  
• アルミナ質ベルジヤ-
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-016149   Applicant：東芝セラミックス株式会社
• セラミックグロープラグ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-251643   Applicant：日本電装株式会社
• 真空処理装置用素材及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-197205   Applicant：東京エレクトロン株式会社