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J-GLOBAL ID：200903004222148236

静電チャックの電極構造

Inventor： 辰己 良昭 ,  宮下 欣也
Applicant, Patent owner： 株式会社クリエイティブ テクノロジー
Agent (1)： 成瀬 勝夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002082946
Publication number (International publication number)：2003282687
Application date： Mar. 25, 2002
Publication date： Oct. 03, 2003
Summary：

【要約】【課題】 金属基盤の上面側に静電チャックシートを積層して形成された静電チャックにおいて、静電チャックシートに給電するための電極構造を容易に組立てることができ、また、分解して金属基盤から電極構造を取り外すことができる静電チャックの電極構造を提供する。【解決手段】 金属基盤の上面側に静電チャックシートを積層して形成された静電チャックにおいて、上記金属基盤の上下面間を貫通する貫通孔と、この貫通孔内に配設され、金属基盤の下面側から供給された電力を上面側に積層された静電チャックシートに供給する給電端子と、電気絶縁性材料で形成されて上記貫通孔の内壁と給電端子との間を絶縁すると共に上記給電端子を保持する絶縁保持部材とで構成された静電チャックの電極構造であり、上記絶縁保持部材を貫通孔の内壁に着脱可能に取り付けたことを特徴とする静電チャックの電極構造である。

Claim (excerpt)：

金属基盤の上面側に静電チャックシートを積層して形成された静電チャックにおいて、上記金属基盤の上下面間を貫通する貫通孔と、この貫通孔内に配設され、金属基盤の下面側から供給された電力を上面側に積層された静電チャックシートに供給する給電端子と、電気絶縁性材料で形成されて上記貫通孔の内壁と給電端子との間を絶縁すると共に上記給電端子を保持する絶縁保持部材とで構成された静電チャックの電極構造であり、上記絶縁保持部材を貫通孔の内壁に着脱可能に取り付けたことを特徴とする静電チャックの電極構造。

F-Term (7)：

5F031HA18 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA31 ,  5F031MA32 ,  5F031PA07 ,  5F031PA09

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 一方向導電カプラ層を有する静電チャック
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-084213   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
• 静電チャックコネクタとそのコンビネ-ション
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-354865   Applicant：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド