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J-GLOBAL ID：200903004273551930

板状ワークの温度調整装置及び温度調整方法

Inventor：
太田 浩一

About 太田 浩一

, 
浅沼 一範

About 浅沼 一範

, 
寺島 雅俊

About 寺島 雅俊


Applicant, Patent owner：
オリオン機械株式会社

About オリオン機械株式会社


Agent (2)： 綿貫 隆夫 ,  堀米 和春
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006186509
Publication number (International publication number)：2008015241
Application date： Jul. 06, 2006
Publication date： Jan. 24, 2008
Summary：
【課題】所定間隔を置いて精密加工が施される複数枚の板状の各ワークに対して同時に且つ容易に温度調整を施すことのでき、且つワークに帯電した静電気を容易に除電できる板状ワークの温度調整装置を提供する。【解決手段】精密加工が施される複数枚の板状のワークとしてのガラス板16,16・・を所定間隔を介して平行に積層して積層体を形成する積層手段としての棚体10と、ガラス板16,16・・各々の両面に沿って空気流が平行流として流れるように、前記積層体の一端側の全面に亘って前記空気流を供給する空気流供給手段としての空気供給部20と、前記空気流を所定温度に調整する熱交換器32と加熱ヒータ30とから成る温度調整手段とを具備し、前記棚体10と空気流供給部20との間に、ガラス板16,16・・の各々に帯電している静電気を除去する静電気除去装置が設けられていることを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
精密加工が施される複数枚の板状のワークを所定間隔を介して平行に積層して積層体を形成する積層手段と、前記ワークの各々の両面に沿って空気流が平行流として流れるように、前記複数枚のワークが積層されている積層体の一端側の全面に亘って前記空気流を供給する空気流供給手段と、前記空気流を所定温度に調整する温度調整手段とを具備し、 前記積層手段と空気流供給手段との間に、前記ワークに帯電している静電気を除去する静電気除去装置が設けられていることを特徴とする板状ワークの温度調整装置。
IPC (3)：
G03F 7/20 ,  G02F 1/13 ,  H01L 21/027
FI (3)：
G03F7/20 501 ,  G02F1/13 101 ,  H01L21/30 502H
F-Term (12)：
2H088EA68 ,  2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H097BA02 ,  2H097DB07 ,  2H097DB20 ,  2H097LA12 ,  5F046CC01 ,  5F046DA26 ,  5F046DB02
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (5)
  • クリーンオーブン
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-313043   Applicant：株式会社九州日昌
  • 処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-120737   Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
  • 静電気除去装置および静電気除去方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-364336   Applicant：株式会社ニコン
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