炭素繊維膜を備える電子素子

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (2)：佐藤辰彦 , 千葉剛宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003160309
Publication number (International publication number)：2004362948
Application date： Jun. 05, 2003
Publication date： Dec. 24, 2004
Summary：

【課題】炭素繊維膜と該導電性材料との接合部での電気抵抗の小さい電子素子を提供する。【解決手段】導電性材料2と、導電性材料2にオーミック接合されている炭素繊維膜4とを備える。炭素繊維膜4は、導電性材料2の表面に接合されたアモルファス珪素層3を介して導電性材料2に接合されている。導電性材料2は、全重量の100ppm以上の範囲の珪素を含む。アモルファス珪素層3は、炭素繊維膜4の生成のための触媒金属粒子5を含む。炭素繊維膜4は、カーボンナノチューブ6からなる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

導電性材料と、該導電性材料にオーミック接合されている炭素繊維膜とを備えることを特徴とする電子素子。

IPC (3)：

H01J1/304 , B32B7/02 , C01B31/02

FI (3)：

H01J1/30 F , B32B7/02 104 , C01B31/02 101F

F-Term (33)：

4F100AA37B , 4F100AB01C , 4F100AB02 , 4F100AB10 , 4F100AB11A , 4F100AB11C , 4F100AD09 , 4F100AD11B , 4F100AT00A , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA07 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100DE01C , 4F100DG01B , 4F100EH66 , 4F100GB41 , 4F100GB90 , 4F100JA12C , 4F100JG01A , 4F100JL08C , 4F100YY00A , 4G146AA11 , 4G146AB06 , 4G146AD28 , 4G146BA12 , 4G146BC09 , 4G146BC44 , 5C135AA09 , 5C135AA13 , 5C135AA15 , 5C135AB07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-155551 Applicant：株式会社日立製作所
電子放出素子及び蛍光発光型表示器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-303605 Applicant：双葉電子工業株式会社
微小電界放出陰極素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-051775 Applicant：日本放送協会

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