カーボンナノチューブを有する電子源とそれを用いた電子顕微鏡および電子線描画装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井上学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006155551
Publication number (International publication number)：2006269443
Application date： Jun. 05, 2006
Publication date： Oct. 05, 2006
Summary：

【課題】カーボンナノチューブと導電性基材とのオーミックコンタクトが確保でき、十分な接合強度を有するとともに、ビーム軸調整が容易な高信頼性電子源とそれを用いることにより、従来機種と比べ、高分解能化,高輝度化,低加速電圧化による試料ダメージの低減化,低コスト化,小型化を実現する電子顕微鏡および高精細化,高効率化,低コスト化,小型化を実現する電子線描画装置を提供する。【解決手段】導電性基材の先端中央部に、導電性接合材料を介するか、あるいは有機材料を介してカーボンナノチューブを取付けた後、熱処理により該有機材料を炭化処理するか、または拡散接合によりカーボンナノチューブをオーミックコンタクト接合した電子源を電子顕微鏡,電子線描画装置に適用する。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

微細孔を有する導電性針と、該導電性針の微細孔に設けられる導電性接合材料と、前記導電性接合材料に接合されるカーボンナノチューブと、を有することを特徴とする電子源。

IPC (3)：

H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 37/073

FI (3)：

H01J1/30 F , H01J9/02 B , H01J37/073

F-Term (28)：

5C030CC02 , 5C127AA04 , 5C127AA05 , 5C127BA10 , 5C127BA15 , 5C127BB02 , 5C127BB07 , 5C127BB12 , 5C127CC03 , 5C127DD02 , 5C127DD07 , 5C127DD08 , 5C127DD20 , 5C127DD62 , 5C127DD99 , 5C127EE15 , 5C127EE16 , 5C127EE17 , 5C135AA10 , 5C135AA15 , 5C135AB02 , 5C135AB07 , 5C135AB12 , 5C135AC01 , 5C135HH15 , 5C135HH16 , 5C135HH17 , 5C135HH20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

電子放出素子、及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-292949 Applicant：シャープ株式会社
導電性走査型顕微鏡用プローブ及びこれを用いた加工方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-403559 Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社, セイコーインスツルメンツ株式会社
電子エミッターとその製造法および電子線装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-211969 Applicant：株式会社日立製作所

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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