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J-GLOBAL ID：200903004470372851

薬液制御機器の内部構造

Inventor：
宮下 路生

About 宮下 路生

, 
國立 善弘

About 國立 善弘

, 
菅田 和広

About 菅田 和広


Applicant, Patent owner：
シーケーディ株式会社

About シーケーディ株式会社


Agent (1)： 山田 強
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006286763
Publication number (International publication number)：2008101757
Application date： Oct. 20, 2006
Publication date： May. 01, 2008
Summary：
【課題】薬液制御機器内において薬液の流路を形成する複数の部材間に薬液が浸透すること。【解決手段】薬液制御弁10の薬液導入路20及び薬液流出路22は、バルブ26によって連通及び遮断される。すなわち、バルブ26は、通常、ピストンロッド28を介してスプリング30の弾性力が及ぼされるために閉弁されている。これに対し、シリンダ16の側面に形成されているエア導入路32から加圧エアが導入されると、ピストンロッド28がスプリング30の力に打ち勝って変位し、ひいては、バルブ26が開弁する。上記バルブ26は、ボディ14及びシリンダ16間に嵌め込まれている。バルブ26とボディ14との接触面には、薬液との接触角を増大させるための凹凸構造が備えられている。【選択図】 図7
Claim (excerpt)：
薬液制御機器の内部構造において、 薬液の流路を形成する複数の部材間への前記薬液の浸透を抑制すべく、該複数の部材の中の少なくとも1つの部材の表面部分であって且つ前記複数の部材の接触面を構成する表面部分に凹凸構造を備え、該凹凸構造によって前記薬液と前記表面部分との接触角を増大させたことを特徴とする薬液制御機器の内部構造。
IPC (6)：
F16K 1/00 ,  F16K 41/10 ,  F16K 31/163 ,  F16K 7/16 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/306
FI (6)：
F16K1/00 E ,  F16K41/10 ,  F16K31/163 ,  F16K7/16 C ,  H01L21/304 648K ,  H01L21/306 J
F-Term (20)：
3H052AA01 ,  3H052BA35 ,  3H052CA17 ,  3H052EA16 ,  3H056AA01 ,  3H056AA07 ,  3H056BB38 ,  3H056CA01 ,  3H056CB03 ,  3H056CB09 ,  3H056CD04 ,  3H056CE03 ,  3H056DD04 ,  3H056GG04 ,  3H056GG11 ,  3H066AA01 ,  3H066AA07 ,  3H066BA19 ,  3H066DA09 ,  5F043EE15
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (2)

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