Pat
J-GLOBAL ID：200903004699867129

基板処理装置

Inventor：
福井 克洋

About 福井 克洋

, 
廣江 敏朗

About 廣江 敏朗


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (3)： 吉田 茂明 ,  吉竹 英俊 ,  有田 貴弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005282115
Publication number (International publication number)：2007090216
Application date： Sep. 28, 2005
Publication date： Apr. 12, 2007
Summary：
【課題】処理槽または処理室の内部と外部との間で基板を搬送しつつ基板を処理する基板処理装置において、処理槽または処理室内を良好に密閉できる技術を提供する。【解決手段】基板処理装置1は、基板保持部34の上部に枠部33を有する。そして、基板Wをチャンバ20内に搬入したときには、枠部33を挟んでチャンバ20とカバー22とを閉鎖し、チャンバ20内を密閉する。また、基板Wをチャンバ20の上方に搬出したときには、チャンバ20とカバー22とを直接接触させて閉鎖し、チャンバ20内を密閉する。このため、基板Wをチャンバ20内に搬入したときにも、基板Wをチャンバ20の上方へ搬出したときにも、チャンバ20内を良好に密閉できる。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板に処理を行う基板処理装置であって、 基板を処理する処理空間を内部に有する処理室と、 前記処理室の上部に形成された開口部を介して前記処理室の内部と外部との間で基板を搬送する搬送部と、 前記開口部に対して開閉可能なカバーと、 を備え、 前記搬送部は、前記処理室の外部に配置された駆動部と、前記駆動部の駆動により前記処理室の内部と外部との間で移動可能であり、かつ基板を保持する保持部と、前記駆動部と前記保持部との間を連結させる枠部とを備え、 前記保持部が前記処理室の内部にあり、かつ前記カバーを閉じた場合、前記枠部は前記開口部と前記カバー部との間に狭持されて前記処理室内を密閉にさせ、 前記保持部が前記処理室の外部にあり、かつ前記カバーを閉じた場合、前記カバーは前記開口部と接触して前記処理室内を密閉にさせることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3)：
B08B 3/04 ,  H01L 21/677 ,  H01L 21/304
FI (4)：
B08B3/04 B ,  H01L21/68 A ,  H01L21/304 642B ,  H01L21/304 648C
F-Term (23)：
3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201AB08 ,  3B201AB44 ,  3B201BB04 ,  3B201BB22 ,  3B201BB90 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201BB96 ,  3B201CC01 ,  3B201CD36 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031GA15 ,  5F031HA42 ,  5F031HA73 ,  5F031MA23 ,  5F031NA09 ,  5F031NA18 ,  5F031PA30
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (5)
Show all
Cited by examiner (4)
  • 洗浄装置及び圧電デバイスの製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-068324   Applicant：セイコーエプソン株式会社
  • 洗浄殺菌装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-054575   Applicant：松下冷機株式会社
  • 基板処理装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-081559   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM