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J-GLOBAL ID：200903004760382230

気相ダイヤモンド膜のコーティング方法及び装置

Inventor： 阿部 利彦 ,  高木 敏行 ,  内一 哲哉 ,  三木 寛之 ,  セルギィ・コノブリュック
Applicant, Patent owner： 独立行政法人科学技術振興機構 ,  国立大学法人東北大学 ,  日本素材株式会社
Agent (1)： 小越 勇
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006052027
Publication number (International publication number)：2007230799
Application date： Feb. 28, 2006
Publication date： Sep. 13, 2007
Summary：

【課題】3次元形状試料に対して、均一に気相合成ダイヤモンド膜を効率良くコーティングするための装置を提供する。【解決手段】熱フィラメント法による気相ダイヤモンド膜のコーティング方法において、コーティング装置の内部に、加熱用フィラメント1、加熱用フィラメント1の近傍に配置した被コーティング試料4及びフィラメント加熱用の上部電極と下部電極を配置し、コーティング装置本体に上部電極を固定すると共に、該上部電極にフィラメント1の上端部を固定し、フィラメント1の下端部を移動自在な下部電極に固定して、下部電極がフィラメント1により吊持された状態とし、下部電極の重量及びフィラメント1の自重によりフィラメント1を緊張させると共に、該緊張したフィラメント1を通電加熱し、かつダイヤモンド原料となるガスを供給して、ダイヤモンド膜を試料4に気相ダイヤモンド膜をコーティングする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

熱フィラメント法による気相ダイヤモンド膜のコーティング方法において、コーティング装置の内部に、加熱用フィラメント、該加熱用フィラメントの近傍に配置した被コーティング試料及びフィラメント加熱用の上部電極と下部電極を配置し、コーティング装置本体に上部電極を固定すると共に、該上部電極にフィラメントの上端部を固定し、フィラメントの下端部を移動自在な下部電極に固定して、下部電極がフィラメントにより吊持された状態とし、下部電極の重量及びフィラメントの自重によりフィラメントを緊張させると共に、該緊張したフィラメントを通電加熱し、かつダイヤモンド原料となるガスを供給して、ダイヤモンド膜を前記試料にコーティングする気相ダイヤモンド膜のコーティング方法。

IPC (2)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/27

FI (2)：

C30B29/04 G ,  C23C16/27

F-Term (18)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB07 ,  4G077DB21 ,  4G077ED04 ,  4G077ED06 ,  4G077EG20 ,  4G077HA13 ,  4G077HA14 ,  4G077TA04 ,  4G077TB02 ,  4G077TK13 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030CA03 ,  4K030FA17 ,  4K030KA49 ,  4K030LA21

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

• 細いフィラメント線の周囲にダイヤモンドを生成する装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-145384   Applicant：二瓶仁
• ダイヤモンドモザイク及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-143771   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 熱フィラメントCVD装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-002393   Applicant：三菱鉛筆株式会社
• 半透明ダイヤモンド薄膜及びその製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-016571   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 気相化学蒸着方法及びその装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2002-568802   Applicant：プレジジョンダイアモンドテクノロジーズカンパニーリミテッド

Cited by examiner (3)

• 半透明ダイヤモンド薄膜及びその製法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-016571   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 細いフィラメント線の周囲にダイヤモンドを生成する装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-145384   Applicant：二瓶仁
• 気相化学蒸着方法及びその装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2002-568802   Applicant：プレジジョンダイアモンドテクノロジーズカンパニーリミテッド