Pat
J-GLOBAL ID：200903004873769778
レンズの収差測定方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998037473
Publication number (International publication number)：1999237310
Application date： Feb. 19, 1998
Publication date： Aug. 31, 1999
Summary：
【要約】【課題】 レンズ収差の絶対評価を精度良く行う。【解決手段】 基板上に転写されたパターンの周期が式1の条件を満たし且つホトマスク上でのライン幅とスペース幅がほぼ1対1である周期パターン又は基板上に転写されたパターンの周期が式2の条件を満たす周期パターンからなる第1のパターン72と、この第1のパターンの1周期の幅よりもパターン幅が広い第2のパターン71とにより評価パターンを構成し、λ/{NA(1-σ)}≦P≦3λ/{NA(1+σ)} (式1)λ/{NA(1-σ)}≦P≦2λ/{NA(1+σ)} (式2)基板上に同時に転写された第1のパターンと第2のパターンの位置の差を測定する。ただし、Pは第1のパターンの1周期の幅、NAは投影レンズの開口数、λは照明光の波長、σは照明光学系のコヒーレンスファクターである。
Claim (excerpt)：
ホトマスク上に形成されたパターンに照明光学系を介して照明光を照射し、このホトマスク上のパターンに対応して投影光学系により基板上に転写される評価パターンを測定することにより投影光学系の投影レンズの収差を測定する方法において、前記評価パターンは、基板上に転写されたパターンの周期が式1の条件を満たし且つホトマスク上でのライン幅とスペース幅がほぼ1対1である周期パターン又は基板上に転写されたパターンの周期が式2の条件を満たす周期パターンからなる第1のパターンと、この第1のパターンの1周期の幅よりもパターン幅が広い第2のパターンとを有するものであり、 λ/{NA(1-σ)}≦P≦3λ/{NA(1+σ)} (式1) λ/{NA(1-σ)}≦P≦2λ/{NA(1+σ)} (式2)P:第1のパターンの1周期の幅NA:投影レンズの開口数λ:照明光の波長σ:照明光学系のコヒーレンスファクター前記基板上に同時に転写された第1のパターンと第2のパターンの位置の差を求めることを特徴とするレンズの収差測定方法。
IPC (4)：
G01M 11/02
, G01M 11/00
, G03F 7/20 501
, H01L 21/027
G01M 11/02 B
, G01M 11/00 L
, G03F 7/20 501
, H01L 21/30 502 V
, H01L 21/30 516 A
