Pat
J-GLOBAL ID：200903004997889046

パタ-ン欠陥分類装置

Inventor：
猪口 正幸

About 猪口 正幸

, 
児玉 裕俊

About 児玉 裕俊


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社

, 
日本電子システムテクノロジー株式会社

About 日本電子システムテクノロジー株式会社


Agent (1)： 田中 隆秀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998374715
Publication number (International publication number)：2000194864
Application date： Dec. 28, 1998
Publication date： Jul. 14, 2000
Summary：
【要約】【課 題】 被検査体表面に形成されたパターンに欠陥が有る場合に、その欠陥がショート(短絡)、オープン(断線)、または異物付着の欠陥(ダスト)であるか否かを自動的に判別すること。【解決手段】 欠陥部分を含む所定範囲の被検査体画像から前記所定パターンの領域を形成する要素が実際に形成するパターンのみを抽出した画像である被検査体パターン抽出画像を記憶する被検査体パターン抽出画像記憶装置CM1cと、前記被検査体パターン抽出画像を作成抽出した被検査体表面の画像部分に対応するモデル画像から前記所定パターン領域のみを抽出した画像であるモデルパターン抽出画像を記憶するモデルパターン抽出画像記憶装置CM2cと、前記被検査体パターン抽出画像と前記モデルパターン抽出画像とに基づいて前記被検査体欠陥部のパターン欠陥の種類を自動的に判別するパターン欠陥自動判別手段C3とを備えた欠陥分類装置。
Claim (excerpt)：
下記の要件(A01)〜(A03)を備えたことを特徴とするパターン欠陥分類装置、(A01)所定パターンを形成すべき要素が実際に形成された被検査体表面に対して予め行った検査で発見された欠陥領域の画像を含む被検査体画像を記憶する被検査体画像記憶装置と、前記被検査体表面の欠陥領域の位置を含む被検査体欠陥情報を記憶した被検査体欠陥情報記憶装置と、前記欠陥領域を含む所定範囲の被検査体画像から前記所定パターンの領域を形成する要素が実際に形成するパターンのみを抽出した画像の外形の特定が可能な被検査体パターン抽出画像を記憶する被検査体パターン抽出画像記憶装置とを有する被検査体情報記憶装置、(A02)前記被検査体パターン抽出画像を作成抽出した被検査体表面の画像部分に対応するモデル画像から前記所定パターン領域のみを抽出した画像の外形の特定が可能なモデルパターン抽出画像を記憶するモデルパターン抽出画像記憶装置、(A03)前記被検査体パターン抽出画像と前記モデルパターン抽出画像とに基づいて前記被検査体表面の欠陥領域のパターン欠陥の種類を自動的に判別するパターン欠陥自動判別手段。
IPC (5)：
G06T 7/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66
FI (5)：
G06F 15/62 405 A ,  G01B 11/30 A ,  G01R 31/26 G ,  H01L 21/66 J ,  G01N 21/88 645 A
F-Term (46)：
2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2G003AA10 ,  2G003AB18 ,  2G003AH01 ,  2G003AH02 ,  2G003AH05 ,  2G051AA51 ,  2G051AA56 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051ED07 ,  2G051ED14 ,  2G051ED23 ,  2G051FA10 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA09 ,  4M106BA20 ,  4M106CA39 ,  4M106CA41 ,  4M106DB05 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ14 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  5B057AA03 ,  5B057DA03 ,  5B057DA17 ,  5B057DB02 ,  5B057DC09 ,  5B057DC36 ,  5B057DC40
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
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