揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長尾達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007259727
Publication number (International publication number)：2009086590
Application date： Oct. 03, 2007
Publication date： Apr. 23, 2009
Summary：

【課題】減圧封止が可能な構造を構成して揺動体のジッタを低減するに際し、大気圧時の2倍から3倍のQ値を確保し、制御性の保持が可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の2倍から3倍のQ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されている構成とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の2倍から3倍のQ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されていることを特徴とする揺動体装置。

IPC (5)：

G02B 26/10 , G02B 26/08 , B81B 3/00 , H04N 1/113 , G03G 15/04

FI (6)：

G02B26/10 104Z , G02B26/10 C , G02B26/08 E , B81B3/00 , H04N1/04 104Z , G03G15/04

F-Term (58)：

2H045AB06 , 2H045AB08 , 2H045AB10 , 2H045AB13 , 2H045AB38 , 2H045AB73 , 2H045BA13 , 2H045DA02 , 2H076AB02 , 2H076AB13 , 2H076AB16 , 2H076AB81 , 2H141MA12 , 2H141MB24 , 2H141MC04 , 2H141MC06 , 2H141MC09 , 2H141MD12 , 2H141MD13 , 2H141MD15 , 2H141MD16 , 2H141MD20 , 2H141MD23 , 2H141MD24 , 2H141MD40 , 2H141ME01 , 2H141ME25 , 2H141MF12 , 2H141MG04 , 2H141MG06 , 2H141MG07 , 2H141MZ06 , 2H141MZ16 , 2H141MZ19 , 2H141MZ25 , 2H141MZ30 , 3C081AA13 , 3C081BA21 , 3C081BA28 , 3C081BA43 , 3C081BA44 , 3C081BA47 , 3C081BA53 , 3C081BA54 , 3C081BA55 , 3C081EA08 , 3C081EA11 , 5C072AA03 , 5C072BA02 , 5C072BA04 , 5C072DA02 , 5C072HA02 , 5C072HA14 , 5C072HB06 , 5C072HB15 , 5C072XA01 , 5C072XA05 , 5C072XA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

静電容量型MEMSアクチュエータ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-135131 Applicant：住友精密工業株式会社
光走査装置、光書き込み装置及び画像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-273671 Applicant：株式会社リコー

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