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J-GLOBAL ID：200903039727472370
静電容量型MEMSアクチュエータ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：
大中 実
, 大内 信雄
, 鈴木 活人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005135131
Publication number (International publication number)：2006320963
Application date： May. 06, 2005
Publication date： Nov. 30, 2006
Summary：
【課題】一対の電極のみを用いて揺動部材の揺動周波数及び機械的共振周波数を個別に制御可能な静電容量型MEMSアクチュエータを提供する。【解決手段】MEMSアクチュエータ100は、基板に対して揺動可能に支持された揺動部材と、当該揺動部材を静電力を利用して揺動駆動するための一対の電極とを具備するMEMSデバイス1と、MEMSデバイス1が具備する前記一対の電極間に電圧を印加する電源回路2とを具備する。電源回路2は、直流バイアス電圧を重畳した交流電圧を前記一対の電極間に印加すると共に、前記重畳する直流バイアス電圧を変更可能に構成されている。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
基板に対して揺動可能に支持された揺動部材と、当該揺動部材を静電力を利用して揺動駆動するための一対の電極とを具備するMEMSデバイスと、
前記MEMSデバイスが具備する前記一対の電極間に電圧を印加する電源回路とを具備する静電容量型MEMSアクチュエータであって、
前記電源回路は、直流バイアス電圧を重畳した交流電圧を前記一対の電極間に印加すると共に、前記重畳する直流バイアス電圧を変更可能に構成されていることを特徴とする静電容量型MEMSアクチュエータ。
IPC (3)：
B81B 3/00
, G02B 26/10
, H02N 1/00
B81B3/00
, G02B26/10 104Z
, H02N1/00
2H045AB08
, 2H045AB10
, 2H045AB38
Cited by applicant (2)
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マイクロミラー駆動装置及びその制御方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2002-056564
Applicant：三星電子株式会社
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同調可能な固有周波数をもつMEMS走査ミラー
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2003-394482
Applicant：アドヴァンスドナノシステムズ
Cited by examiner (2)
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