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J-GLOBAL ID：200903074722853112

光走査装置、光書き込み装置及び画像形成装置

Inventor：
藤井 光美

About 藤井 光美


Applicant, Patent owner：
株式会社リコー

About 株式会社リコー


Agent (2)： 鈴木 誠 ,  大浦 一仁
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002273671
Publication number (International publication number)：2004109651
Application date： Sep. 19, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：
【課題】捻り梁を捻り回転軸としてミラーを往復振動させる光走査装置において、ミラーの振動空間の封止及びミラー駆動のための電気的接続の構造を改良する。【解決手段】フレーム39、捻り梁32、ミラー33が一体的に形成された導電性材料からなるミラー基板34の各面に、透明な絶縁性材料からなるカバー基板31と、絶縁材料からなるベース基板35をそれぞれ接合することにより、ミラー33の振動空間を気密に封止する。ベース基板35に設けられた貫通電極36はミラー基板34のフレーム39の所定部位に接触する。ミラー33は静電力により駆動されるが、そのための駆動電圧は貫通電極36を介して外部より印加することができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
フレームと、捻り梁と、この捻り梁によって前記フレームに支持されたミラーとが一体的に形成された導電性材料からなるミラー基板と、 前記ミラー基板の第1の面に接合された、透明な絶縁性材料からなるなるカバー基板と、 前記ミラー基板の前記第1の面と反対側の第2の面に接合された、絶縁性材料からなるベース基板とを有し、 前記カバー基板と前記ベース基板とにより前記ミラーの振動空間が気密に封止され、 前記ベース基板は、それを貫通し、かつ、前記ミラー基板のフレームに接触する複数の貫通電極を有し、 前記貫通電極を通じて外部より前記ミラーを駆動するための電圧を印加可能としてなる光走査装置。
IPC (2)：
G02B26/10 ,  B41J2/44
FI (2)：
G02B26/10 104Z ,  B41J3/00 D
F-Term (11)：
2C362BA17 ,  2C362BA42 ,  2C362BA48 ,  2C362BA49 ,  2H045AB06 ,  2H045AB08 ,  2H045AB16 ,  2H045AB26 ,  2H045AB38 ,  2H045AB44 ,  2H045AB73
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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