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J-GLOBAL ID：200903005108999362

配向膜の製造方法、及び、液体吐出ヘッドの製造方法

Inventor：
二瓶 靖和

About 二瓶 靖和


Applicant, Patent owner：
富士写真フイルム株式会社

About 富士写真フイルム株式会社


Agent (2)： 宇都宮 正明 ,  渡部 温
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006039544
Publication number (International publication number)：2006298747
Application date： Feb. 16, 2006
Publication date： Nov. 02, 2006
Summary：
【課題】セラミックスを含む配向膜を低コストで製造できる配向膜の製造方法を提供する。【解決手段】基板に向けて粉体を噴射して該基板上に堆積させるエアロゾルデポジション法を用いることにより、少なくとも表面における結晶配向が制御された種基板1上にセラミックス膜10を形成する工程(a)と、工程(a)において形成されたセラミックス膜10を熱処理することにより、セラミックス膜に含まれる結晶粒を配向させる工程(b)とを含む。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
基板に向けて粉体を噴射して該基板上に堆積させるエアロゾルデポジション法を用いることにより、少なくとも表面における結晶配向が制御された種基板上に、原料を含む膜を形成する工程(a)と、 工程(a)において形成された膜を熱処理することにより、前記膜に含まれる結晶粒を配向させる工程(b)と、 を具備する配向膜の製造方法。
IPC (6)：
C30B 1/04 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/09
FI (6)：
C30B1/04 ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/08 J
F-Term (18)：
2C057AF93 ,  2C057AP14 ,  2C057AP31 ,  2C057AP51 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14 ,  4G077AA03 ,  4G077AA07 ,  4G077BC43 ,  4G077CA03 ,  4G077CA07 ,  4G077CA09 ,  4G077EC03 ,  4G077FE19 ,  4G077HA11 ,  4G077JA03 ,  4G077JA06 ,  4G077JB07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (8)
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Cited by examiner (6)
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