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J-GLOBAL ID：200903005124716745

ガス中の微量不純物の分析方法及び分析装置

Inventor：
菊地 勉

About 菊地 勉

, 
西名 明

About 西名 明


Applicant, Patent owner：
日本酸素株式会社

About 日本酸素株式会社


Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002220419
Publication number (International publication number)：2004061321
Application date： Jul. 29, 2002
Publication date： Feb. 26, 2004
Summary：
【課題】より高精度の分析が可能なガス中の微量不純物の分析方法及び装置を提供する。【解決手段】ガスクロマトグラフの分離カラム2で試料ガス中の微量不純物を分離し、当該微量不純物をイオン源部19でイオン化し、質量分離する質量分析装置を用いるガス中の微量不純物の分析方法において、 前記分離カラム2から前記イオン源部19の圧力を、大気圧よりも高く維持しながら、分析を行う。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
ガスクロマトグラフの分離カラムで試料ガス中の微量不純物を分離し、当該微量不純物をイオン源部でイオン化し、質量分離する質量分析装置を用いるガス中の微量不純物の分析方法において、 前記分離カラムから前記イオン源部の圧力を、大気圧よりも高く維持しながら、分析を行うことを特徴とするガス中の微量不純物の分析方法。
IPC (4)：
G01N27/62 ,  G01N30/72 ,  H01J49/04 ,  H01J49/10
FI (5)：
G01N27/62 C ,  G01N27/62 F ,  G01N30/72 A ,  H01J49/04 ,  H01J49/10
F-Term (7)：
5C038EE01 ,  5C038EF03 ,  5C038EF12 ,  5C038GG08 ,  5C038GH04 ,  5C038GH08 ,  5C038GH15
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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